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一種雙列式二維時(shí)柵直線位移傳感器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11944285

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本發(fā)明屬于精密測量傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種雙列式二維時(shí)柵直線位移傳感器。背景技術(shù)直線位移測量是最基本的幾何量測量,大量存在于以制造業(yè)為代表的工業(yè)實(shí)踐和科學(xué)實(shí)踐中。現(xiàn)有關(guān)于平面二維位移測量的傳感器分為兩種,一種是在平面上相對互差90°垂直安裝兩個(gè)直線位移傳感器分別獲取平面二維直線位移量,另一種是采用單一的二維直線位移傳感器分別獲取兩個(gè)維度的位移量。垂直安裝兩個(gè)直線位移傳感器會給測量帶來阿貝誤差與安裝定位誤差,而且某些應(yīng)用環(huán)境,不具備同時(shí)安裝兩個(gè)傳感器的條件?,F(xiàn)有的二維直線位移傳感器主要有二維光...
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