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基于故障數(shù)據(jù)灰度圖譜的半導(dǎo)體芯片批量測試方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11914062

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片批量測試技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種半導(dǎo)體芯片批量測試方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量是通過一組不同單位,類型各異的測試數(shù)據(jù)反映。半導(dǎo)體芯片批量生產(chǎn)時,需要對數(shù)以千記測試數(shù)據(jù)快速分析,進(jìn)行質(zhì)量分級,分析缺陷分布特點(diǎn)并找出原因。由于測試數(shù)據(jù)的多維性和測試實(shí)時性要求,單變量數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析方法以及傳統(tǒng)的多維數(shù)據(jù)統(tǒng)計方法均難以取得滿意的效果。發(fā)明人之前獲得的國家發(fā)明專利“基于二位彩色數(shù)字圖譜的復(fù)雜機(jī)電系統(tǒng)狀態(tài)評估方法”(專利號:ZL201110146488.5),和以第一作者發(fā)表的相關(guān)論文《P...
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