技術(shù)編號(hào)：11900902
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種用于人工晶體爐的門扣結(jié)構(gòu)【技術(shù)領(lǐng)域】本發(fā)明涉及人工晶體設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種用于人工晶體爐的門扣結(jié)構(gòu)。【背景技術(shù)】隨著科技的不斷進(jìn)步和發(fā)展，人們對(duì)人工晶體的需求量也日益增大。以多晶硅為例，多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接原料，也是當(dāng)代人工智能、自動(dòng)控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料。目前生產(chǎn)多晶硅方法有多種，較為常用的是氫還原法；該方法是把提純好的硅鹵化物(四氯化硅或三氯氫硅)和凈化好的氫氣作為原料通入還原爐，在高溫環(huán)境中，硅鹵化物與氫氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而生成多晶硅沉積在發(fā)熱體上?；瘜W(xué)反...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。