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一種薄膜晶體管及其制作方法、陣列基板、顯示裝置與流程技術資料下載

技術編號:11869428

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本發(fā)明涉及顯示技術領域,尤其涉及一種薄膜晶體管及其制作方法、陣列基板、顯示裝置。背景技術在各種顯示裝置的像素單元中,通過施加驅動電壓來驅動顯示裝置的薄膜晶體管(ThinFilmTransistor,TFT)被大量使用。在TFT的有源層一直使用穩(wěn)定性和加工性較好的非晶硅(a-Si)材料,但是a-Si材料的載流子遷移率較低,不能滿足大尺寸、高分辨率顯示器件的要求,特別是不能滿足下一代有源矩陣式有機發(fā)光顯示器件(ActiveMatrixOrganicLightEmittingDevice,AMOLED...
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