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薄膜輻射熱流傳感器及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11858904

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本發(fā)明屬于薄膜特種傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于鍍膜技術(shù)和光刻技術(shù)的薄膜傳感器及其制備方法。背景技術(shù)在科學(xué)技術(shù)、工業(yè)生產(chǎn)、工程建造過程中,熱流量以多種方式進(jìn)行著傳遞,最常見的三種傳遞方式分別為導(dǎo)熱、對流和輻射。隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,熱流密度的測量技術(shù)越發(fā)受到人們的關(guān)注。在熱分析監(jiān)察的領(lǐng)域中,熱流密度測量的必要性已被重視和確認(rèn),相應(yīng)的熱流測量方法得到了較大的發(fā)展和普遍的應(yīng)用。在輻射熱流密度測量方面國外研發(fā)出了很多新型的傳感器,新的材料研發(fā)和制作工藝水平的進(jìn)步為其提供了技術(shù)支持,但在國內(nèi)還處于相...
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