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傳樣裝置及具有該裝置的超高真空測量系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11855354

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本實用新型涉及超高真空測量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種適用于超高真空系統(tǒng)的傳樣裝置。背景技術(shù)超高真空是指壓力在10-9mbar以下的真空環(huán)境。超高真空系統(tǒng)是指在人造超高真空環(huán)境下,對不同類型的樣品進行生長、表征和測量的系統(tǒng),常見的有掃描隧道顯微鏡(STM)、分子束外延(MBE)、氣體熱脫附儀(TDS)和慢正電子壽命譜(SPLS)等,應(yīng)用于物理、化學(xué)、材料和生物科學(xué)等各個研究領(lǐng)域。測試樣品由大氣環(huán)境進入超高真空環(huán)境需要一套完整的傳送裝置,通常由樣品托、送樣桿和樣品接受臺三部分組成,構(gòu)成了超高真...
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