技術(shù)編號：11811023
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及蒸鍍裝置和托盤保持件。背景技術(shù)作為一例，蒸鍍裝置被用于在透鏡等光學(xué)元件的表面形成反射防止膜。蒸鍍裝置包括用于釋放出形成膜的物質(zhì)的蒸鍍源、和覆蓋蒸鍍源并能夠繞中心軸旋轉(zhuǎn)的拱頂。在拱頂上安裝有多個托盤，在各個托盤上安裝有多個工件，例如透鏡。利用上述蒸鍍裝置來處理工件的工藝包括蒸鍍準(zhǔn)備步驟和蒸鍍步驟。蒸鍍準(zhǔn)備步驟包括：在蒸鍍裝置上安裝工件；準(zhǔn)備蒸鍍源；以及生成蒸鍍用環(huán)境。在蒸鍍步驟中，在蒸鍍用環(huán)境中從蒸鍍源釋放出的物質(zhì)到達(dá)安裝于拱頂?shù)墓ぜ?，形成該物質(zhì)的膜。在蒸鍍準(zhǔn)備步驟中，蒸鍍裝置的動作被中...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。