技術(shù)編號(hào)：11764191
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成有蓋板抓取機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)及搬運(yùn)方法，屬于自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域。背景技術(shù)在自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域中，對(duì)于所需搬運(yùn)的物體上方有蓋的情形，通常在設(shè)備中設(shè)置一個(gè)蓋抓取機(jī)構(gòu)，利用蓋抓取機(jī)構(gòu)將蓋取走，利用搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將需要搬運(yùn)的物體搬運(yùn)至目標(biāo)位置，這使得整體設(shè)備占空大、復(fù)雜。具體的，如，在給ALD反應(yīng)腔室上下料的機(jī)構(gòu)中，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)需要將從反應(yīng)腔室內(nèi)鍍膜完畢的硅片搬運(yùn)至目標(biāo)位置，并將將要進(jìn)行鍍膜的硅片搬運(yùn)至反應(yīng)腔室，而硅片在反應(yīng)腔室鍍膜時(shí)，硅片載具的上方需要設(shè)置蓋板，那么在搬運(yùn)過(guò)程中，需要將蓋從鍍膜完畢的硅片載...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。