技術(shù)編號(hào):11737302
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種滑塊固定鑄鋁件。背景技術(shù)目前的絲杠、滑軌、滑塊、步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)控制下的機(jī)械運(yùn)動(dòng)背景下,運(yùn)動(dòng)的行程精度和機(jī)械運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性有待提高,運(yùn)動(dòng)精度不高芯片制作過程中沒法接受,穩(wěn)定性不高的情況下(有抖動(dòng)現(xiàn)象)造就了故障率和檢修率頻繁,雖說在當(dāng)前的技術(shù)機(jī)械運(yùn)動(dòng)較好,能滿足大眾化生產(chǎn)需要,但是芯片制造過程中需要把機(jī)械運(yùn)動(dòng)故障做到0;運(yùn)動(dòng)精度更高機(jī)械運(yùn)動(dòng)達(dá)到微米級(jí)計(jì)算,常規(guī)滑塊固定塊機(jī)械運(yùn)動(dòng)行程精度不高,穩(wěn)定性不好,有抖動(dòng)現(xiàn)象。實(shí)用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本實(shí)用新型的目的在于提供一...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。