技術編號：11706011
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微機電技術領域的多功能傳感器芯片，具體地說，是涉及一種新型多功能傳感器芯片及其制備方法。背景技術生物化學和生物技術過程受很多物理參數的影響，如溫度、壓力及電解液的電導率等。因此，為了保證工藝過程的穩(wěn)定性和可靠性，必須監(jiān)控這些參數。以溶液電導率的測量為例，電導率測量是分析化學，工業(yè)過程，食品分析和水質量控制中常用的手段，也用于藥物、血液和尿素分析。通常電導率的測量用接近理想極化的惰性電極，如Pt或者Au，電極與電解液直接接觸，由于電解作用和氧化還原反應常會產生氣泡，以及電極的污染。因...
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