技術(shù)編號：11676642
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微納加工領域，具體涉及在曲面玻璃上制備耐久性微納結(jié)構(gòu)的方法。背景技術(shù)現(xiàn)有的在曲面上進行微納加工的方法中最有效的是激光直寫技術(shù)。該方法利用激光焦斑在曲面上進行掃描，使得涂覆于曲面上的光刻膠被曝光從而得到所需要的圖形。其優(yōu)點是可以得到任意圖形，缺點在于加工過程極其緩慢不適合大口徑大批量加工的需要，且所制備結(jié)構(gòu)并不具有耐久性,需要通過離子束刻蝕技術(shù)等其他后續(xù)加工手段將結(jié)構(gòu)傳遞到基底上。其它方法包括激光全息干涉法，貼花轉(zhuǎn)印方法等，這些方法各有優(yōu)缺點，受限頗多。軟光刻技術(shù)是一系列使用帶有微納圖案...
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