技術(shù)編號:11627456
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及顯微掃描自動對焦補償系統(tǒng)及補償方法。背景技術(shù)在顯微掃描中,需要被顯微掃描的物方放置在載物臺上,通過載物臺的x軸、y軸方向的移動,使得物方依次通過物鏡的焦平面,通過物鏡對物方上各點分別成像,然后把各點的成像經(jīng)過拼合形成整個物方的像。由于載物臺制造誤差,使用環(huán)境影響等原因,掃描過程中,載物臺的各點a(x,y)在移動到物鏡下方時,點a(x,y)可能會偏離物鏡的焦平面,此時為了清晰成像,就需要重新進行對焦。重新對焦的方法一般是物鏡在z軸上下移動或者變焦過程中,連續(xù)對點a(x,y)拍攝40副圖像...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。