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一種步進(jìn)式微型壓電電機(jī)及其工作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11589043

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本發(fā)明涉及一種步進(jìn)式微型壓電電機(jī),屬于壓電精密致動(dòng)技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著微/納米技術(shù)的發(fā)展,眾多工程技術(shù)領(lǐng)域的研究都迫切需要亞微米級(jí)、微/納米級(jí)的精密作動(dòng)器。但由于傳統(tǒng)電磁電機(jī)需要減速裝置,在微型化、高功重比的發(fā)展方向上很難突破。隨著材料科學(xué)的發(fā)展,新型功能材料為這些應(yīng)用提出了新的解決方案,其中,逆壓電效應(yīng)的發(fā)現(xiàn)及具有優(yōu)越性能的壓電陶瓷(PZT)材料的出現(xiàn)使得壓電精密作動(dòng)器的研究得到了廣泛關(guān)注,并在精密作動(dòng)領(lǐng)域顯示出了廣泛的應(yīng)用前景。直線步進(jìn)式微型壓電電機(jī)主要包括共振型超聲電機(jī)和非共振型步進(jìn)電機(jī)...
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