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一種高熱載流子可靠性橫向絕緣柵雙極型器件的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11586989

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本發(fā)明主要涉及高壓功率半導(dǎo)體器件的可靠性領(lǐng)域,具體的說(shuō),是一種有效降低熱載流子損傷,改善熱載流子注入特性,提高器件可靠性的一種高熱載流子可靠性的橫向絕緣柵雙極型器件。適用于航天電子設(shè)備、衛(wèi)星通信設(shè)備、等離子體顯示設(shè)備、電子計(jì)算機(jī)、通訊系統(tǒng)、汽車工業(yè)等厚膜驅(qū)動(dòng)器集成電路。背景技術(shù)集成電路的可靠性自從集成電路誕生之日起就是人們關(guān)注的焦點(diǎn)問(wèn)題,其中熱載流子注入(HotCarrierInjection,HCI)效應(yīng)就是一個(gè)非常重要的可靠性問(wèn)題,也是造成諸多電子產(chǎn)品失效的主要原因之一。隨著節(jié)能需求的日益增...
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