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圖像傳感器及半導(dǎo)體裝置的制作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11586921

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本發(fā)明大體來說涉及圖像傳感器,且特定來說但非排他地,涉及圖像傳感器制作方法。背景技術(shù)圖像感測器已變得無所不在。其廣泛地用于數(shù)碼靜態(tài)相機(jī)、蜂窩式電話、安全攝像機(jī)以及醫(yī)學(xué)、汽車及其它應(yīng)用中。用于制造圖像傳感器的技術(shù)一直繼續(xù)快速地進(jìn)展。舉例來說,較高分辨率及較低功率消耗的需求已促進(jìn)了這些裝置的進(jìn)一步小型化及集成。CMOS圖像傳感器有時被視為大量制造中的最初三維半導(dǎo)體裝置。隨著背側(cè)照明式圖像傳感器的出現(xiàn),將芯片堆疊集成到制作程序中,所述背側(cè)照明式圖像傳感器涉及使電路、透鏡及光電二極管的結(jié)構(gòu)次序與傳統(tǒng)前側(cè)...
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