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測定裝置及測定裝置的制造方法與流程技術資料下載

技術編號:11514674

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本發(fā)明涉及一種測定裝置及測定裝置的制造方法。背景技術以往,作為檢測流體的流量變化的流量傳感器,已知有專利文獻1所記載的液體用的流量傳感器。該流量傳感器具有半導體模塊,所述半導體模塊納入有在流體的流向上游側-下游側分別具備的兩個溫度傳感器及熱源。該流量傳感器具備引導液體的管道,半導體模塊經(jīng)由導熱膏等粘接劑而被設置在管道的外表面上,兩個溫度傳感器及熱源和管道的外表面熱接觸。這樣的流量傳感器的結構被采用于不想使流體接觸管道以外的材料的情況,或半導體模塊大于管道的內徑而不能在管道的內部配置半導體模塊的情...
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