技術(shù)編號(hào)：11507465
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種加熱器，尤其是一種用于硅單晶爐的能夠滿足半導(dǎo)體級(jí)硅單晶生長(zhǎng)所需梯度溫度場(chǎng)條件的一種半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐底部的石墨加熱器。背景技術(shù)單晶硅是具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)體材料，純度可達(dá)到99.9999999%以上，可以用于二極管級(jí)、整流器件級(jí)、電路級(jí)以及太陽(yáng)能電池級(jí)單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造，其后續(xù)產(chǎn)品集成電路和半導(dǎo)體分離器件已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，在軍事電子設(shè)備中也占有重要地位，處于新材料發(fā)展的前沿。半導(dǎo)體級(jí)硅單晶爐是單晶硅產(chǎn)業(yè)鏈中重要的晶體生長(zhǎng)設(shè)備，由于半導(dǎo)體級(jí)硅單晶體...
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