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一種GaAs HBT器件結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11500932

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一種GaAsHBT器件結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種GaAsHBT器件結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)進(jìn)入二十一世紀(jì)以來,社會邁入了超高速發(fā)展的信息時代,全球數(shù)據(jù)業(yè)務(wù)呈現(xiàn)爆炸式增長,射頻通信技術(shù)尤其是GaAsHBT技術(shù)取得了長足的進(jìn)步和廣泛地應(yīng)用。目前GaAsHBT在手機(jī)/基站中已成為標(biāo)準(zhǔn)射頻器件而得到普遍應(yīng)用。與傳統(tǒng)的AlGaAs/GaAs異質(zhì)結(jié)相比,InGaP/GaAs具有以下優(yōu)點(diǎn):1、InGaP/GaAs的價(jià)帶能帶差比AlGaAs/GaAs更大,電子注入效率更高;2、InGaP/Ga...
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