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技術(shù)編號：11459836

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本發(fā)明涉及一種近紅外VCSEL激光器,特別涉及一種近紅外VCSEL激光器的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法。背景技術(shù)垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL)通過布拉格反射器（DBR）形成諧振腔，光從垂直于半導(dǎo)體襯底表面方向出射。相比邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器，VCSEL不存在光學(xué)腔面損傷，具有低的閾值電流、動態(tài)單模工作、遠場發(fā)散角小、近圓形光斑和光方向垂直于襯底表面的特性，與光纖耦合效率高，易于集成二維陣列，所以VCSEL在光互聯(lián)、光通訊、光信號處理以及WDM光纖通訊、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、計算機芯片中有著廣泛的應(yīng)用。基于VCSEL...
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