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具有可調(diào)諧發(fā)射光譜的光源的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11452810

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本發(fā)明涉及具有能夠被調(diào)諧的發(fā)射光譜的光源。背景技術(shù)半導(dǎo)體發(fā)光設(shè)備(包括發(fā)光二極管(LED)、諧振腔發(fā)光二極管(RCLED)、垂直腔激光二極管(VCSEL)和邊緣發(fā)射激光器)是當(dāng)前可用的最高效的光源之一。當(dāng)前在能夠跨可見光譜操作的高亮度發(fā)光設(shè)備的制造中感興趣的材料系統(tǒng)包括III-V族半導(dǎo)體,特別是鎵、鋁、銦和氮的二元、三元和四元合金,其也被稱作III族氮化物材料。典型地,III族氮化物發(fā)光設(shè)備通過下述來制作:借由金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)、分子束外延(MBE)或其它外延技術(shù),在藍(lán)寶石、碳化...
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