技術(shù)編號：11449729
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。反射鏡裝置相關(guān)申請的交叉引用本專利申請要求德國專利申請DE102014226272.0的優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)容通過引用并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種反射鏡裝置，特別是一種EUV投射曝光設(shè)備的反射鏡裝置。本發(fā)明還涉及一種投射曝光設(shè)備的照明光學(xué)單元、一種具有這樣的照明光學(xué)單元的照明系統(tǒng)以及具有這樣的照明光學(xué)單元的投射曝光設(shè)備。最后，本發(fā)明涉及一種制造微結(jié)構(gòu)化或納米結(jié)構(gòu)化部件的方法，并且涉及根據(jù)該方法制造的部件。背景技術(shù)例如，WO2009/100856A1公開了一種用于投射曝光設(shè)備的分面反射鏡，其具有多個單...
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