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一種新型全熔高效坩堝的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11434984

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本發(fā)明涉及一種新型全熔高效坩堝的制備方法,屬于多晶硅鑄錠領(lǐng)域。背景技術(shù)目前,多晶硅錠的制備方法主要是利用GTSolar提供的定向凝固系統(tǒng)進(jìn)行制備,該方法通常包括加熱、熔化、長(zhǎng)晶、退火和冷卻等步驟。在凝固長(zhǎng)晶過程中,通過對(duì)頂部溫度和側(cè)邊保溫罩開度進(jìn)行控制,使得熔融硅液在坩堝底部獲得足夠的過冷度凝固結(jié)晶。在多晶鑄錠過程中使用的一個(gè)重要輔材,多晶鑄錠用石英坩堝,由于普通坩堝底部呈現(xiàn)各向同性的特點(diǎn),硅液在結(jié)晶初期形核不能得到有效控制,存在晶粒尺寸分布不均勻(從幾十微米到十幾厘米)、位錯(cuò)密度高的問題,大大...
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