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一種均勻恒定熱損耗磁透鏡的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11422620

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本實(shí)用新型涉及帶電粒子束顯微鏡領(lǐng)域,尤其涉及一種均勻恒定熱損耗磁透鏡。背景技術(shù)對(duì)于電磁透鏡,通常是通過(guò)改變激勵(lì)線圈中的電流來(lái)改變電磁透鏡的聚焦特性;但是,由于激勵(lì)線圈具有一定的電阻,因此,在激勵(lì)線圈中的電流發(fā)生改變時(shí),電磁透鏡的溫度也發(fā)生變化;溫度的變化會(huì)導(dǎo)致導(dǎo)磁殼體和透鏡極靴等結(jié)構(gòu)的熱變形和導(dǎo)磁材料的磁導(dǎo)率發(fā)生變化,進(jìn)而影響電磁透鏡的磁場(chǎng)分布,如:磁透鏡結(jié)構(gòu)的熱變形會(huì)導(dǎo)致磁場(chǎng)分布不均勻,導(dǎo)磁材料的磁導(dǎo)率的變化會(huì)影響磁場(chǎng)強(qiáng)度的大小等。為了控制電磁透鏡因發(fā)熱引起的溫度變化,第一種解決方案是使用水冷...
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