技術(shù)編號(hào):11416865
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及氧化鋯傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及氧化鋯傳感器芯片制作的氧化鋯基片流延生產(chǎn)設(shè)備。背景技術(shù)氧化鋯傳感器用于測(cè)量汽車燃燒過程中殘余氧量,它在減少環(huán)境污染、提高燃燒效率方面起著積極的作用。氧化鋯傳感器的關(guān)鍵部件是氧化鋯芯片,氧化鋯芯片最新采用多層氧化鋯基片上下疊壓工藝?,F(xiàn)有技術(shù)中,氧化鋯基片采用流延方式進(jìn)行生產(chǎn),在流延生產(chǎn)的流延階段,目前通常采用單一刀頭的平刮刀來對(duì)漿料表面進(jìn)行刮平來形成坯料,由于漿料的黏度和流變特性的控制比較困難,所以坯片表面在流延階段易生成表面條紋;另外,當(dāng)通過多個(gè)供料管...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。