技術(shù)編號(hào)：11409748
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用帶電粒子顯微鏡的方法，包括：—樣本保持器，其用于保持樣本；—源，其用于產(chǎn)生帶電粒子的照射射束；—照明器，其用于引導(dǎo)所述射束從而照射樣本；—檢測(cè)器，其用于響應(yīng)于所述照射而檢測(cè)從樣本放射的出射輻射通量。帶電粒子顯微術(shù)是用于特別是以電子顯微術(shù)的形式對(duì)顯微對(duì)象進(jìn)行成像的眾所周知且越來越重要的技術(shù)。歷史上，電子顯微鏡的基本種類已經(jīng)經(jīng)歷到許多眾所周知的設(shè)備類別的演變，該設(shè)備類別諸如透射電子顯微鏡（TEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）以及掃描透射電子顯微鏡（STEM），并且還演變?yōu)楦鞣N子類，諸...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。