技術(shù)編號：11406228
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻膠管路設(shè)計。背景技術(shù)光刻膠的技術(shù)復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。利用這種性能，將光刻膠作涂層，就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。光刻膠價格昂貴且有效期短，有效期一般只有6個月，而一些特殊的光刻用膠，如某些片上系統(tǒng)填充材料，在常溫下只有10天的有效期。光刻膠是在冷藏或冷凍環(huán)境中存儲和運(yùn)輸，但在作業(yè)過程中卻是在常溫下儲存在機(jī)臺內(nèi)...
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