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基于弧形源場板的垂直結(jié)構(gòu)電力電子器件的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11388183

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本發(fā)明屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域,涉及半導(dǎo)體器件,特別是基于弧形源場板的垂直結(jié)構(gòu)電力電子器件,可用于電力電子系統(tǒng)。技術(shù)背景功率半導(dǎo)體器件是電力電子技術(shù)的核心元件,隨著能源和環(huán)境問題的日益突出,研發(fā)新型高性能、低損耗功率器件就成為提高電能利用率、節(jié)約能源、緩解能源危機的有效途徑之一。而在功率器件研究中,高速、高壓與低導(dǎo)通電阻之間存在著嚴重的制約關(guān)系,合理、有效地改進這種制約關(guān)系是提高器件整體性能的關(guān)鍵。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,傳統(tǒng)第一代Si半導(dǎo)體和第二代GaAs半導(dǎo)體功率器件性能已接近其材料本身決定的理論極...
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