技術(shù)編號：11376166
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種晶圓檢測分類裝置，特別是指一種高速、精密且?guī)в袡z測分類功能的創(chuàng)新結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著科技的快速發(fā)展，高科技電子產(chǎn)品使用于日常生活中已是相當(dāng)普遍，例如手機(jī)、主板、數(shù)字相機(jī)等電子產(chǎn)品，該類電子產(chǎn)品內(nèi)部皆裝設(shè)并布滿許多IC半導(dǎo)體，而IC半導(dǎo)體的材料來源就是晶圓，為了能夠因應(yīng)各式高科技電子產(chǎn)品的大量需求，故晶圓代工產(chǎn)業(yè)皆以如何令晶圓制造流程更加快速、有效率為目標(biāo)，不斷地進(jìn)行研發(fā)與改良突破。目前市面上晶圓的檢測設(shè)備，一開始就是針對在IC半導(dǎo)體的抽樣量測而設(shè)計(jì)的，因此量測速度慢，且其所提供的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。