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光學測量系統(tǒng)的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11332910

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本發(fā)明涉及光學測量系統(tǒng)。特別地,本發(fā)明涉及一種用于光學測量的光譜儀,包括法布里-珀羅干涉儀和探測器。本發(fā)明還涉及一種用于分析對象的光譜的方法。本發(fā)明還涉及一種計算機可讀介質(zhì),在其上存儲有一組計算機可執(zhí)行的指令。背景技術(shù)光學測量系統(tǒng)例如用于分析目標的特性或材料含量。對象(例如氣體或氣體混合物)的光譜可以通過使用包括法布里-珀羅干涉儀和用于監(jiān)測通過法布里-珀羅干涉儀透射的光的強度的探測器的光譜儀來測量。使用微機械技術(shù)來生產(chǎn)法布里-珀羅干涉儀是很常見的。法布里-珀羅干涉儀是基于兩個反射鏡,即輸入反射鏡...
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