技術(shù)編號：11214248
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種晶圓轉(zhuǎn)向裝置，特別是一種將晶圓的擺放方式由平放或直放之間改變，并將晶圓從不同載具之間轉(zhuǎn)換的晶圓轉(zhuǎn)向裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體工藝中，需要對晶圓進(jìn)行多種加工工藝。在不同工藝中，用來承載晶圓的載具也會不用，并且晶圓的擺放方式也會不同。當(dāng)晶圓在不同載具和不同的擺放方式之間轉(zhuǎn)換時，會使用許多裝置來讓晶圓在二個不同載具之間安全得轉(zhuǎn)換。若是需要將平放在平臺或流水線機臺上的晶圓300放置在直立擺放式的載具上時，如圖1所示，會需要先使用機械臂400抬起平放的晶圓300，再將平放的晶圓300放入晶圓暫...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。