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基于聲表面波的微位置傳感器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11175155

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本發(fā)明涉及,特別涉及一種基于聲表面波的微位置傳感器。背景技術(shù)聲表面波(surfaceacousticwave,SAW)是英國(guó)物理學(xué)家瑞利在19世紀(jì)80年代研究地震波的過(guò)程中偶爾發(fā)現(xiàn)的一種能量集中于地表面?zhèn)鞑サ穆暡āB暠砻娌ㄊ且环N在固體淺表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?,它存在若干模式,主要包括Rayleigh波、Love波、Lamb波、B2G波、漏剪切聲表面波以及快速聲表面波模式的準(zhǔn)縱漏聲表面波等。1965年,美國(guó)懷特和沃爾特默發(fā)表題為“一種新型聲表面波聲——電轉(zhuǎn)化器”的論文,取得了聲表面波技術(shù)的關(guān)鍵性突破,首...
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