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一種雙源濺射合金薄膜的裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11023616

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最初的ECR等離子源,是將微波以串聯(lián)方式導(dǎo)入等離子源的。如圖1所示,10為矩形波導(dǎo)管,11為石英窗,12為圓筒靶材,13為基片,14為基片架,設(shè)置在等離子源和微波導(dǎo)入用的矩形波導(dǎo)10之間的石英窗11上一旦形成導(dǎo)電性膜,微波會(huì)在石英窗11處被反射,導(dǎo)致等離子體不穩(wěn)定,或者等離子體消失。因此,最初的ECR等離子體源未能實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電性膜的連續(xù)成膜。為了解決上述問(wèn)題,導(dǎo)入了兩種方法。(I)微波分割法 如圖2所示,利用分配器21把向等離子體室導(dǎo)入微波用的導(dǎo)波管分成兩支...
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