技術(shù)編號：11022130
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微電子機械系統(tǒng))是利用集成電路制造技術(shù)和微加工技術(shù)把微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器、控制處理電路甚至接口和電源等制造在一塊或多塊芯片上的微型集成系統(tǒng)。與傳統(tǒng)紅外探測器相比，采用MEMS技術(shù)制備的紅外探測器在體積、功耗、重量以及價格等方面有十分明顯的優(yōu)勢。目前，利用MEMS技術(shù)制作的紅外探測器已廣泛用于軍事和民用領(lǐng)域。按照工作原理的不同，紅外探測器主要分為熱電堆、熱釋電和熱敏電阻探測器等...
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