技術(shù)編號(hào)：109202
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光電轉(zhuǎn)換器。迄今為此，人們對(duì)光電變換器的應(yīng)用提出過各色各樣的方案。傳真機(jī)用的接觸式圖象傳感器是這種應(yīng)用的一個(gè)實(shí)例，其示意圖如圖1所示。該傳感器由光敏半導(dǎo)體層3組成，光敏半導(dǎo)體層3兩相對(duì)表面有一對(duì)電極2和4，該對(duì)電極是用三個(gè)掩模用平版印刷述制成的。現(xiàn)行這種光電轉(zhuǎn)換器的制造方法如下-先在襯底1上形成一層鉻導(dǎo)電層，用第一個(gè)掩模1m模制，形成多個(gè)第一電極2，再用輝光放電法在模制成的電極2上淀積一層1微米厚非晶形硅光敏本征半導(dǎo)體層，然后用第二個(gè)金屬掩模2m模制，形成光電轉(zhuǎn)換層3。作為半導(dǎo)體層，非晶形硅系按這樣一種方...
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