技術(shù)編號(hào)：10843423
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。采用MEMS工藝制造的智能傳感器，如加速度、陀螺儀、諧振壓力、光電圖像等，這些智能傳感器需要工作在高真空、高潔凈的環(huán)境下，才能保障其指標(biāo)Q值和壽命。為了滿足智能傳感器工作環(huán)境需求，通常將智能傳感器封裝于密閉腔體內(nèi)并在密閉腔體內(nèi)設(shè)置雜質(zhì)吸附器件，例如吸氣劑，用來吸收封裝腔體內(nèi)部緩慢釋放的氣體、水分等污染物，維持內(nèi)部尚真空環(huán)境。目前，吸氣劑普遍采用薄膜、柱狀、片狀等形態(tài)，在使用前需要將吸氣劑加熱到300?900°C，充分激活后才能夠正常使用。例如本公司在申請(qǐng)?zhí)?..
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。