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一種光刻工藝優(yōu)化方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10723623

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光刻工藝參數(shù)影響了光刻工藝質(zhì)量,為了提高光刻工藝質(zhì)量可以通過(guò)對(duì)光刻工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化來(lái)實(shí)現(xiàn)。通常,光刻工藝的重要參數(shù)包括焦深(DOF)、能量的容忍度(EL)、掩膜圖形誤差提高因子(Mask error enhancement factor,MEEF)、數(shù)值孔徑(NA)、光源半徑(Sigma)等。其中,焦深(DOF)指在保持影像較為清晰的前提下,焦平面(focus)沿著鏡頭光軸所允許移動(dòng)的距離。工藝窗口下的DOF是指尺寸在一定的規(guī)格內(nèi)變化時(shí),允許的焦距改變的距...
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