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技術(shù)編號(hào)：10684689

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例如從德國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)N0.DE 19963786A1已知壓力傳感器。該文件中公開(kāi)的壓力傳感器具有矩形的半導(dǎo)體芯片，芯片整個(gè)背面通過(guò)陽(yáng)極接合連接的方式連接到由硼硅酸鹽玻璃制成的立方固體主體。半導(dǎo)體芯片和硼硅酸鹽玻璃的材料具有不同的彈性模量。從2013年4月MarcBaumann在Der Andere Verlag，ISBN978-3-86247-354-0的學(xué)位論文“Robust Piezoresistive CMOS Sensor Microsystems”...
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