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光電裝置、光電裝置的制造方法以及電子設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10653097

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作為電子設(shè)備,周知存在例如如下的投射式顯示裝置等將從光源射出的光通過被稱為DMD(數(shù)字微鏡元件)的光電裝置的多個(gè)反射鏡(微反射鏡)進(jìn)行調(diào)制之后,將調(diào)制光通過投射光學(xué)系統(tǒng)放大投射,從而在屏幕上顯示圖像。例如,如圖11所示,上述投射式顯示裝置等中使用的光電裝置具備在一面Is設(shè)置有反射鏡50的元件基板I;粘結(jié)于元件基板I的一面Is側(cè)以便俯視時(shí)包圍反射鏡50的墊片61;以及被墊片61的元件基板I的相反側(cè)的端部支撐的板狀的透光性蓋71。并且,光電裝置例如具有形成有被...
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