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具有多面檢測能力的晶粒挑揀裝置的制造方法技術資料下載

技術編號:10283477

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于現(xiàn)有的晶粒挑撿制程中,其附加視覺檢測功能的必要性日益升高,視覺檢測系用于檢測出晶粒的五側面是否具有表面瑕疵,而晶粒的表面瑕疵的檢測方法會同時影響檢測的效率,并進而影響附加此檢測功能的挑撿機的產(chǎn)出。請配合參考第I圖所示,現(xiàn)有的視覺檢測方式,其利用一取放單元70將一晶粒71由一晶粒供應模塊76移動至一檢測站72。檢測站72系由四面反射鏡720,以一環(huán)繞方式所組成。當取放單元70將晶粒71移動至檢測站72的上方,取放單元70系下降至一特定距離,以使晶粒71位于...
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