技術(shù)編號(hào):102193
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種Ⅰ型凹面光柵分度誤差檢驗(yàn)方法,適用于檢驗(yàn)凹面光柵的分度精度?,F(xiàn)有的檢驗(yàn)凹面光柵分度誤差的方法是采用波面比較干涉儀,此方法能半定量地測(cè)量衍射波面的質(zhì)量,而無(wú)法判定影響衍射波面質(zhì)量的Ⅰ型凹面光柵分度誤差的性質(zhì)和大小。并且采用此方法檢驗(yàn)不同的Ⅰ型凹面光柵時(shí),參考鏡需調(diào)換。本發(fā)明的任務(wù)是要提供一種新型的Ⅰ型凹面光柵分度誤差的檢驗(yàn)方法。它能夠定量地檢驗(yàn)Ⅰ型凹面光柵的分度誤差。并且由于采用了通過檢查凹面光柵本身正負(fù)級(jí)光譜的衍射光束形成的干涉條紋,以確定凹面光柵的分度精度,所以不存在更換參考鏡問題。圖1是本發(fā)明的原...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。