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I型凹面光柵分度誤差的檢驗(yàn)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):102193

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本發(fā)明涉及一種Ⅰ型凹面光柵分度誤差檢驗(yàn)方法,適用于檢驗(yàn)凹面光柵的分度精度?,F(xiàn)有的檢驗(yàn)凹面光柵分度誤差的方法是采用波面比較干涉儀,此方法能半定量地測(cè)量衍射波面的質(zhì)量,而無(wú)法判定影響衍射波面質(zhì)量的Ⅰ型凹面光柵分度誤差的性質(zhì)和大小。并且采用此方法檢驗(yàn)不同的Ⅰ型凹面光柵時(shí),參考鏡需調(diào)換。本發(fā)明的任務(wù)是要提供一種新型的Ⅰ型凹面光柵分度誤差的檢驗(yàn)方法。它能夠定量地檢驗(yàn)Ⅰ型凹面光柵的分度誤差。并且由于采用了通過檢查凹面光柵本身正負(fù)級(jí)光譜的衍射光束形成的干涉條紋,以確定凹面光柵的分度精度,所以不存在更換參考鏡問題。圖1是本發(fā)明的原...
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