技術(shù)編號：10018181
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。現(xiàn)有的制絨工藝和設(shè)備都是將硅片完全浸沒在藥液里面，達到去除硅片損傷層及制絨的效果，但是在后續(xù)擴散工藝中是單面擴散，只對擴散面的絨面形態(tài)有要求，因此，只需要對擴散面的進行制絨就可以滿足硅片的使用，并且雙面腐蝕制絨工藝降低了硅片的厚度、浪費了化學品藥液，這種雙面腐蝕制絨的設(shè)備具有效率低，能耗高的缺點。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種單面腐蝕制絨設(shè)備，以改善上述問題。本實用新型是這樣實現(xiàn)的—種單面腐蝕制絨設(shè)備，包括制絨槽和傳送裝置，所述傳送裝置包括若干水...
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