專利名稱：薄膜剝離方法及其裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及剝離貼在印刷電路板等上薄膜的方法及裝置。
計算機等電子設備中所使用的印刷電路板，其構成是在絕緣性板的雙面或單面上形成銅等的一定圖形的連線。
這種印刷電路板根據(jù)下述工藝制作。
首先，用滾子將層合體分層墊壓在設置于絕緣襯底上的導電層上，上述層合體是由感光性樹脂(光刻膠)層和保護該層的透光性樹脂薄膜(保護膜)組成。接著疊合連線圖形薄膜，通過該連線圖形薄膜以及前述透光性樹脂薄膜，對前述光刻膠層作定時曝光。進而剝離透光性樹脂薄膜之后，使曝了光的光刻膠層顯象，形成蝕刻掩膜圖形。然后通過腐蝕除去前述導電層的多余部分。通過上述工藝便形成具有一定連線圖形的印刷電路板。
在前述印刷電路板的制造工藝中，自動剝離前述保護膜的薄膜剝離裝置或方法被提出且實施。
作為其一，有如特開平5-338041號公報所展示(參見圖13)的方法，即“相應于薄板襯底4的供給方向長度，切斷將感光層2設置在帶狀支撐體1上的疊層體薄膜3，壓到該薄板襯底4上之后，在支撐體1和感光層2的界面處剝離，在薄板襯底4上只復印感光層2時，露出大于薄板襯底的長度4，壓著疊層體薄膜3”，用裝置或人手夾著該露出部分3A可輕易地剝除帶狀支撐體1(薄膜)。
在這種情況下，雖然刀具刃進入達到感光層2及中間層的深度來切割它們，但不要使其切到帶狀支撐體1，感光層2以及中間層留在薄板襯底4上，僅剝離帶狀支撐體1。圖13的標號5表示保護膜。
在如上所述襯底上，當要用裝置剝離其一端露出地張貼著的薄膜時，該露出端部由于位于通常襯底送進方向后端側，所以剝離裝置雖然從襯底后端向前端方向沿襯底進給線路移動，但剝離裝置移動到比襯底還要靠前地至少必須只剝離薄膜長的部分，而且，剝離裝置必須設定路徑，使返回工序中不與襯底相抵觸。
為了充分滿足這些重要條件，會產(chǎn)生下述問題，在襯底前方至少留有薄膜長的部分的間隔，由于必須防止與前方位置相碰，所以進給方向的距離加大了。
問題還在于在返回工序中剝離裝置必須在襯底進給路線的上方或側方錯開路徑，所以包括襯底進給裝置的整個裝置的高度、寬度變得很大。
進一步的問題是，近年來這種印刷電路板等的精確度提高了，在襯底上稍有一點塵埃附著就會產(chǎn)生次品，所以必須盡可能制止薄膜剝離時膜的運動。
最后的問題是，過去，從襯底上剝下的薄膜雖然是朝裝置下面收容部分自由下落，但由于這種情況會使塵埃產(chǎn)生的機會增大，所以不可能采用自由下落方式。
針對上述問題，本發(fā)明目的在于提供一種薄膜剝離方法及裝置，它能與襯底輸送方向前后的裝置無關地剝離薄膜。
本發(fā)明又一目的是提供一種薄膜剝離方法和裝置，它能抑制剝離時薄膜的運動量，防止產(chǎn)生灰塵。
本發(fā)明進一步的目的在于提供這樣的薄膜剝離方法以及裝置，它能在塵埃難以產(chǎn)生的情況下收容剝離了的薄膜。
為達到本發(fā)明目的的一種薄膜剝離方法，剝離其一端部從襯鍍一端露出，且貼在該襯底上的薄膜，其特征在于具有以下工序吸住前述襯底進行定位；利用與薄膜一端部平行的剝離手(ピ-ルハンド)，夾持從已定位的襯底露出的薄膜的一個端部；在夾持著薄膜一個端部使該剝離手與襯底垂直的面內，以襯底面附近為圓弧中心，一邊朝著前述圓弧中心調節(jié)剝離手位置，一邊從襯底面離開，并且向襯底另一端方向作使薄膜一個端部向上卷起的圓弧運動；由剝離手夾持著卷起的薄膜的一個端部向襯底的另一端方向移動，進而超過前述另一端，薄膜的另一端部至少從襯底到剝離位置并向襯底外輸送；在襯底外位置放開前述薄膜。
如權利要求2，可以與前襯底一端平行，在通過該一端附近的直線上，設置卷起前述薄膜一端部的圓弧運動的圓弧中心。
如權利要求3，把前述薄膜的一個端部作為前端或后端，沿進給路線在一個方向上輸送前述襯底，在通過前述剝離手夾持以前，停止襯底的進給，并且在吸附襯底以后在與襯底平行的平面內旋轉90°，在與配置在襯底進給路線側面的剝離手相對的位置上使前述薄膜的一個端部移動。
如權利要求4，也可將用前述剝離手向襯底外移動的薄膜在放開時裝入，依次堆積收容。
如權利要求5的為達到本發(fā)明目的的薄膜剝離裝置，用于剝離一端部從襯底一端露出且貼在該襯底上的薄膜，其特征是它包括吸附裝置，吸附前述襯底，使其在水平位置固定；剝離手，設置有一對自由開閉的夾持片，夾持從用前述吸附裝置固定的襯底露出的前述薄膜一端部，同時，就這樣夾持著，在與襯底垂直的平面內，一邊從襯底表面向剝離方向分離，一邊朝襯底的另一端方向作大體為圓弧狀運動，這時，前述一對夾持片大致朝著前述圓弧中心；剝離手進給裝置，夾著薄膜一端部沿前述襯底上方越過該襯底的另一端水平地輸送該剝離手，所到達的位置距另一端至少是大于襯底長度的距離。
如權利要求6，前述吸附裝置包括以吸附襯底的狀態(tài)在水平面內旋轉的轉動機構，前述剝離手的一對夾持片呈開啟狀態(tài)，在用前述轉動機構使襯底旋轉時，可位于前述薄膜一端部的旋轉軌跡的上下高度處。
如權利要求7，在前述轉動機構和前述剝離手之間位置，可設置決定該薄膜一端部水平面內旋轉軌跡上下高度位置的薄膜端部支撐臺，當通過前述轉動機構使襯底旋轉時，從下方相對自由滑動地接觸到前述薄膜一端部。
如權利要求8，前述剝離手相對前述薄膜端部支撐臺上的薄膜一端部，在夾持該薄膜一端部的位置和待機位置之間自由進出，并且前述薄膜端部支撐臺可備置允許前述剝離手進退的進出槽。
如權利要求9，前述剝離手包括旋轉部件，在水平并且與前述薄膜一端部平行的旋轉中心軸周圍轉動；前述一對夾持片，朝著前述旋轉中心軸方向安裝在該旋轉部件上。
如權利要求10，前述旋轉部件的旋轉中心軸可通過前述襯底一端附近配置。
如權利要求11，也可設置堆積裝置，它對著前述吸附裝置，由前述剝離手配置在薄膜剝離方向一側，依次堆垛壓緊由剝離手剝離的大致水平輸送過來的薄膜。
如權利要求12，前述堆積裝置可由下述部分構成水平薄膜接納工作臺，其上下位置可自由調節(jié)地配置在由前述剝離手剝離的薄膜的大體水平移動軌跡的下方；上下自由移動的第1薄膜壓板，它處于該薄膜接納工作臺上方，水平并且向與前述剝離薄膜的移動方向垂直方向伸展；上下自由移動的一對第2薄膜壓板，它們處于前述薄膜接納工作臺上方，分置在前述第1薄膜壓板的兩側，與其平行且水平地配置；分別上下驅動前述第1薄膜壓板和第2薄膜壓板的第1驅動裝置及第2驅動裝置。
如權利要求13，前述第1驅動裝置及第2驅動裝置可使得前述剝離了的薄膜用剝離手逐步移動到薄膜接納工作臺上，這時，分別使第1薄膜壓板定位在薄膜移動軌跡上面，第2薄膜壓板定位在薄膜移動軌跡下面，放開該薄膜，并使其落在薄膜接納工作臺上及第2薄膜壓板上方，然后使第1薄膜壓板下降壓住薄膜，第2薄膜壓板舉起落下的薄膜兩端，在薄膜的上方抽出，接著第2薄膜壓板下降壓住薄膜，第1薄膜壓板上升，形成與薄膜之間間隔。
如權利要求14，可形成下述結構前述襯底，其薄膜露出一端部作為前端或后端，通過進給裝置被輸送；前述吸附裝置配置在由該進給裝置形成的進給路線下方，它包括用于吸附前述襯底，并且從進給路線舉起，在水平面內旋轉90°的轉盤；前述剝離手配置在與旋轉90°的薄膜一端部相對的位置上；前述剝離手進給裝置備有導向裝置，其被配置成要能在與前述進給路線垂直的方向上引導前述剝離手越過前述襯底上方；沿該導向裝置使前述剝離手作往復運動的剝離手驅動裝置。
根據(jù)權利要求1的發(fā)明，利用剝離手夾持從襯底一端露出貼著的薄膜一端部、并且由于一邊使該剝離手作圓弧運動，一邊向圓弧中心調節(jié)其位置，所以在由剝離手卷起薄膜一端部時，無多余的力作用在該薄膜一端部，從而薄膜的變形被壓至最小限度。并且剝離手牽引著使卷起的薄膜端部移至襯底以外，因在襯底以外位置才放開，所以若在該處層合，可防止由于剝離了的薄膜的自由落下而引起的塵埃。
根據(jù)權利要求2的發(fā)明，從襯底一端露出的薄膜一端部由于以該襯底一端附近為中心卷起，所以在該卷起動作中薄膜一端部對于襯底無多余的牽引。因而襯底在其平面方向或上下方向受剝離手牽引，不承受多余負荷。
根據(jù)權利要求3的發(fā)明，貼著薄膜的襯底進給停止后旋轉90°，自動地移動到與剝離手相對的位置，所以剝離手夾持薄膜一端部是容易可靠的。并且使薄膜剝離方向與襯底的進給方向垂直，可避免與襯底進給方向的裝置相碰，同時可縮短進給距離。
根據(jù)權利要求4的發(fā)明，由剝離手剝離并移動到襯底外的薄膜被依次堆積收存，所以可抑制薄膜自由落下時產(chǎn)生的灰塵。
根據(jù)權利要求5的發(fā)明，利用剝離手夾持露出并貼著的薄膜一端部，并且由于在薄膜上不產(chǎn)生多余的力地那樣卷起，就這樣沿大致呈水平方向輸送到襯底外，所以使薄膜的剝離變得容易可靠，而且這時對襯底一側不會造成損傷等，剝離時出自薄膜的塵?？上拗圃谧钚〕潭?。
根據(jù)權利要求6的發(fā)明，由于吸附裝置包括在吸附襯底的狀態(tài)使其旋轉的轉動機構，所以相對襯底的進給方向使吸著的襯底轉90°，由在進給路線一側的剝離手夾持薄膜一端部是容易的；并且用剝離手使薄膜一端部剝離方向由于是與襯底的進給方向成90°直交，所以帶剝離手的剝離裝置與襯底進給方向的裝置不會相碰。從而無須加大要防止相碰的薄膜輸送距離或把剝離手設置在進給裝置的上方。
根據(jù)權利要求7的發(fā)明，由于將從襯底露出并下垂的薄膜一端部通過薄膜端部支撐臺支撐在一定高度上，所以剝離手夾持片容易夾持該薄膜一端部。
根據(jù)權利要求8的發(fā)明，可以用進入進出槽內的夾持片在一定高度位置可靠地夾持用薄膜端部支撐臺支持的薄膜一端部；并且這時由于薄膜一端部借助進出槽兩側的薄膜端部支撐臺確保其保持水平狀態(tài)，所以夾持片工作不會失誤。
根據(jù)權利要求9的發(fā)明，由剝離手包括在與薄膜一端部平行的旋轉中心軸周圍轉動的轉動部件及在其上面支撐的一對夾持片，所以由該夾持片夾住薄膜一端部后，在垂直面內作圓弧運動，在使薄膜一端部剝離時，夾持片朝著圓弧運動旋轉中心，防止在薄膜上施加多余的力，通常，利用與人手剝離時的指頭一樣的運動可進行剝離。
根據(jù)權利要求10的發(fā)明，轉動部件的旋轉中心軸通過襯底的一端附近，用轉動部件支撐的夾持片夾住薄膜一端部卷起時，由于以薄膜一端部露出基點為中心旋轉舉起該薄膜一端部，所以薄膜一端部對襯底無牽引，從而不會產(chǎn)生襯底位置偏斜和對薄膜的多余應力。
根據(jù)權利要求11的發(fā)明，因為用剝離手剝離并沿大致水平方向輸送的薄膜通過堆積裝置被依次壓入，所以剝離的薄膜進給范圍被限制在最小限度，從而堆積前的灰塵的產(chǎn)生也可受到最大程度的限制。
根據(jù)權利要求12的發(fā)明，利用上下交錯驅動堆積裝置的第1及第2薄膜壓板進行剝離，并且可依次水平堆積壓進由剝離手送過來的薄膜。
根據(jù)權利要求13的發(fā)明，第1薄膜壓板壓住中心部分，使位于壓住的薄膜下側的第2薄膜壓板一邊舉起薄膜兩端一邊上升，再使薄膜置于第2壓板的下側，進而由第2壓板壓住薄膜，并且第1薄膜壓板返回上方，這期間可送入剝離了的薄膜，然后又壓住輸入的薄膜的中心，使兩端成為第2薄膜壓板的上側，以下順序同樣反復進行，可牢靠地壓入堆積剝離了的薄膜。
根據(jù)權利要求4的發(fā)明，由于剝離手進給裝置越過襯底上方地配置在與進給路線垂直的方向上，所以與襯底進給方向的各種裝置不相碰，致使空間利用率增加許多，同時可使薄膜剝離時的襯底停止時間縮短。
圖1是本發(fā)明實施例的薄膜剝離裝置的平面圖；圖2是同一個實施例的側視圖；圖3是同一個實施例的主要部分放大透視圖；圖4是用剝離手夾持薄膜一個端部的起始過程放大剖視圖；圖5是用剝離手剝離薄膜一個端部的起始過程剖視圖；圖6是用剝離手剝離薄膜的中途過程剖視圖；圖7是用剝離手剝離薄膜的終止過程剖視圖8是把剝離了的薄膜輸入薄膜堆積裝置過程剖視圖；圖9是塞進輸入的剝離薄膜的最初過程的剖視圖；圖10是使第2薄膜壓板上升過程剖視圖；圖11是第2薄膜壓板從剝離了的薄膜下方抽出的中間過程剖視圖；圖12是將剝離了的薄膜塞入的最終過程剖視圖；圖13是要用本發(fā)明的方法和裝置剝離的薄膜以及粘貼該薄膜的襯底的剖視圖。
下面參照


本發(fā)明的實施例。
如圖1和2所示，有關該實施例的薄膜剝離裝置10設置有吸附裝置16，吸附前述襯底12作水平定位，薄膜14的一個端部14A粘在襯底12上，是剝離從襯底12一端12A露出的該薄膜14的裝置；剝離手18，它備有一對自由張合的夾持片18A、18B，夾持從襯底12露出的薄膜14一個端部14A，襯底12是由前述吸附裝置16固定的，同時就這樣夾持著，一邊在與襯底12垂直面內從襯底12表面朝剝離方向分離，一邊還向襯底12的另一端12B方向大致作圓弧形移動，這時使前述一對夾持片18A、18B大致朝向前述圓弧中心；剝離手進給裝置20，它使該剝離手18夾著薄膜一個端部14A，沿前述襯底12上方越過該襯底12的另一端12B，大致水平地送進到距該另一端12B比襯底12還要長的間距的位置；堆積裝置22，依次堆積壓入由剝離手18剝離的薄膜14。
前述襯底12由進給裝置24沿襯底進給路線24A，在圖1從下側向上，在圖2從左向右地送進。
前述吸附裝置16備有氣缸16A；轉盤16B，它利用氣缸16A上下運動從下面接觸、吸附在前述進經(jīng)給裝置24上的襯底12上，并且可使它在水平面內作90°轉換那樣旋轉。前述轉盤16B的上面呈平板狀。在該面上分別設置了直徑不同的二個同心圓狀的圓周槽34A、34B；在這些圓的中心位置形成的吸引口36；6條放射槽34C，它從該吸引口36呈放射狀延伸到圓周槽34A、34B，使圓周槽34A、34B與吸引口36連通。前述吸引口36通過在中途備置開關閥的導管與真空源(圖示皆從略)連通，通過開關閥的切換可作吸附的工作、非工作選擇。轉盤16B在襯底進給路線24A下側位置待機，上升時，要把襯底12舉得比襯底進給路線24A還要高。
圖中標號24B是進給裝置24的進給滾輪；24C是卷繞在該進給滾輪24B的鏈輪(圖示從略)上，傳遞來自馬達24D轉矩的鏈條。
前述剝離手進給裝置20包括前述吸附裝置16的在進給方向進入側與襯底進給路線24A垂直配置的環(huán)帶20A；支撐在該環(huán)帶20A上同時支撐前述剝離手18基端的滑塊20B；驅動環(huán)帶20A的馬達20C。
前述堆積裝置22在側面與前述進給裝置24相鄰配置。前述剝離手進給裝置20的環(huán)帶20A可往復驅動固定在滑塊20B上的剝離手18，見圖1，從進給裝置24的右側越過進給裝置24上方，在與襯底進給路線24A垂直方向上，達到前述堆積裝置22的與進給裝置24相對一側的端部。
包括前述剝離手18的剝離手裝置19如圖3所示由以下部分構成由前述剝離手進給裝置20的環(huán)帶20A驅動的滑塊20B；安裝在該滑塊20上端，環(huán)繞與前述襯底進給路線24A平行的旋轉中心軸線，在90°范圍內使輸出軸往復擺動的旋轉式氣缸19A；固定在該旋轉式氣缸19A的輸出軸上的L形臂19B；在該L形臂19B前端上固定的前述剝離手18。
前述剝離手18備有薄膜端檢測傳感器(未圖示)，夾持片18A、18B接近薄膜一端部14A，當處于可夾持上述端部14A時，輸出薄膜端檢測信號，通過促動器18C使夾持片18A、18B閉合。
上述剝離手18安裝在L形臂19B的長邊前端，并且旋轉式氣缸19A安裝在L形短邊的前端，其輸出軸與長邊平行。
從而，前述剝離手18的夾持片18A、18B安裝成與通過旋轉式氣缸19A的輸出軸的中心軸線相對，以與中心軸線垂直方向相等距離的半徑作旋轉。
而且當前述剝離手裝置19相對薄膜一端部14A處于分開待機狀態(tài)時，如圖3所示，L形臂19B位于同一水平面內。
在前述進給裝置24的與前述堆積裝置22相反側相鄰位置上，把進出槽38作為間隔地配置一對薄膜端部支撐臺40。該薄膜端部支撐臺40上面為水平面，其高度應當是高于前述進給裝置24的進給滾輪24B，并處于比吸附在轉盤16B上準備向上舉起時的襯底12下面還要低的下側位置上。
前述進出槽38是當前述剝離手18利用進給裝置24向襯底12方向前進時，使該剝離手18不與薄膜端部支撐臺40相碰，并且使從襯底12露出的薄膜14的一端部14A借助薄膜端部支撐臺40保持在一定的高度時，就在這樣狀態(tài)用剝離手18的夾持片18A、18B從上下夾入。
在此，前述剝離手裝置19的L形臂19B之長邊下側面成為比薄膜端部支撐臺40上端面還要高的上側位置。
當處于待機狀態(tài)時，在剝離手18的向上下打開的夾持片18A、18B的中間高度成為襯底12的上面高度位置，下側夾持片18B處于比薄膜端部支撐臺40上面還要稍低的位置。
此外，前述剝離手裝置19的旋轉式氣缸19A的輸出軸，即L形臂19B的旋轉中心軸，當用前述夾持片18A、18B夾住薄膜14一端部14A時，要位于通過襯底12一端12A附近的與該一端12A平行的直線上。
從而，夾持片18A、18B在從夾住薄膜一端部14A前的待機狀態(tài)到夾住期間，如圖3實線所示，與薄膜一端部14A相對，用旋轉式氣缸19A使L形臂19B在旋轉式氣缸19A旋轉中心軸周圍擺動時，要向下對著一端12A。
如圖1及8所示，前述堆積裝置22包括在由前述剝離手18產(chǎn)生的剝離薄膜的水平移動軌跡15的下面，通過馬達23可作上下方向位置自由調節(jié)地配置的水平薄膜接納工作臺22A；在該薄膜接納工作臺22A的上方，水平且朝與前述剝離薄膜移動方向垂直方向延伸，可上下自由移動的第1薄膜壓板22B；在前述薄膜接納工作臺22A的上方，分開在前述第1薄膜壓板22B的兩側，與第1薄膜壓板22B平行且水平配置，上下可自由移動的一對第2薄膜壓板22C；由分別驅動前述第1薄膜壓板22B及第2薄膜壓板22C作上下活動的汽缸組成的第1驅動裝置22D、第2驅動裝置22E。
前述第1驅動裝置22D及第2驅動裝置22E在剝離了的薄膜14用剝離手18移至薄膜接納工作臺22A上時，分別使第1薄膜壓板22B定位在比薄膜移動軌跡15還要高的上方，第2薄膜壓板22C定位在比薄膜移動軌跡15還要低的下方；該薄膜14通過剝離手18以一端被夾持狀態(tài)落在薄膜接納工作臺22A及第2薄膜壓板22C上面，然后第1薄膜壓板22B下降壓住薄膜14，進而在剝離手18放開薄膜后，第2薄膜壓板22C舉起落下的薄膜14兩端，在薄膜14上方抽出，接著第2薄膜壓板22C下降壓住薄膜14，第1薄膜壓板22B上升使之與薄膜14之間有間隔。
圖1及圖2中的標號26是交換部分，從前述進給裝置24將剝離了薄膜14的襯底12送入與圖2中右側相鄰的裝置(未圖示)上。
該交換部分26備有由馬達26A通過鏈條26B驅動的前述進給裝置24的進給滾輪24B和排成2列的進給滾輪26C。
如圖1所示，在前述左右2列進給滾輪26C之間，在與該進給滾輪26C垂直方向配置多個隨意轉動的升降式自由滾輪28。這些升降式自由滾輪28通過氣缸28A作上下運動。
在前述左右2列進給滾輪26C的兩個外側，配置由氣缸30A驅動的對中裝置30，把通過由氣缸28A驅動的升降式自由滾輪28舉起的襯底12，從襯底進給路線24A的寬度方向兩側擠壓，實施中心對準。
圖2中的標號32是防靜電的聚氯乙烯保護層；33是不銹鋼保護層。
下面說明與上述實施例有關的薄膜剝離裝置10的功能。
使用進給裝置24向后側送進的一端部14A的粘著薄膜14的襯底12停止進給，同時，用氣缸16A一邊使吸附裝置16的轉盤16B上升，一邊吸附襯底12的背面。吸附著向進給裝置24的進給滾輪24B上方舉起，然后使轉盤16B沿圖1中逆時針方向旋轉90°，從襯底12一端12A露出的薄膜14的一端部14A與襯底進給路線24A平行，并且該一端部14A以襯底進給路線24A作為間隔定位在與前述堆積裝置22的相反一側上。
當薄膜14的一端部14A在水平面內旋轉90°時，便下垂到前述薄膜端部支撐臺40上。這時，薄膜端部支撐臺40從下面支撐住以便維持薄膜14一端部14A為水平狀態(tài)。在薄膜端部支撐臺40中間的進出槽38的位置上，薄膜14的一端部14A橫跨該進出槽38，也維持著水平狀態(tài)。
如圖3實線所示，前述剝離手18以L形臂19B在同一水平面狀態(tài)預先操作剝離手進給裝置20，在與旋轉過來的薄膜14的一端部14A相對的位置上配置好。
如圖4所示，剝離手18其夾持片18A、18B上下呈開啟狀態(tài)，在該狀態(tài)下，通過剝離手進給裝置20的馬達20C驅動環(huán)帶20A，使剝離手18沿與襯底進給路線24A垂直方向緩緩地朝薄膜14的一端部14A移動。
剝離手18以其夾持片18A、18B呈上下開啟狀態(tài)進入前述薄膜端部支撐臺40的進出槽38內，這樣向著一端部14A行進。剝離手18的夾持片18A、18B由于內裝薄膜檢測傳感器，所以薄膜一端部14A一到達夾持片18A、18B之間位置，通過來自薄膜檢測傳感器的信號立刻使馬達20C停止，然后夾持片18A、18B閉合，由此一端部14A被夾持片18A、18B夾住(參看圖5)。
接著在該狀態(tài)下，使剝離裝置19的旋轉式氣缸19A工作，L形臂19B旋轉90°，剝離手18的夾持片18A、18B如圖5、圖6所示那樣將薄膜14一端部14A從襯底卷起作圓弧運動。該圓弧運動由于是以前述襯底12的一端12A為中心，所以夾持片18A、18B通常保持朝著該一端12A方向的狀態(tài)。即夾持片18A、18B改變位置，變成朝著水平橫向向下。并且由于從一端12A到夾持片18A、18B的距離無變化，所以對于襯底12來說，薄膜14的一端部不會受到多余的牽引。
在前述狀態(tài)下，用剝離手進給裝置20使剝離手18移動，通過襯底12的上方到達堆積裝置22的相反側端部，如圖7所示，留下感光層13從襯底剝離薄膜14，還有如圖8所示，進入堆積裝置22的上下打開的第1薄膜壓板22B和第2薄膜壓板22C之間的位置。
因此，前述圓弧運動期間通常夾持片18A、18B朝向旋轉中心，并且由于其旋轉半徑是不變化的，所以薄膜14的一端部14A不會受到牽引力之類影響。因而被前述吸附裝置16的轉盤16B吸附著的襯底12不會因受牽引力而移動。
在這種狀態(tài)下，如圖8所示，薄膜14大體水平地垂落在正從上方擠壓著已經(jīng)接納的薄膜14的第2薄膜壓板22C上面。
接著第1薄膜壓板22B象圖9所示那樣下落，壓進薄膜14，固定在薄膜接納工作臺22A上。薄膜14一旦被固定，夾持其一端的剝離手18之夾持片18A、18B放開該一端部14A。
然后，第2薄膜壓板22C象圖10所示那樣上升，舉起薄膜14的兩端再上升，象圖11所示那樣在薄膜14兩端上側抽出。
這時，薄膜14的兩端由于中央部分受第1薄膜壓板22B擠壓，借助彈性及重力而降落在薄膜接納工作臺22A上。
進而，上升了的第2薄膜壓板22C下降，如圖12所示，把薄膜14緊緊壓在薄膜接納工作臺22A上。然后中央的第1薄膜壓板22B上升，成為如圖8所示的準備接納下一個薄膜14的待機狀態(tài)。
這期間，前述吸附裝置16的轉盤16B旋轉90°復元，再下降打開真空，使襯底12返回進給裝置24的進給滾輪24B上，進給裝置24把襯底12沿交換部分26方向送出。
另一方面，放開薄膜14一端部14A后的剝離手如圖12所示在處于第1及第2薄膜壓板22B、22C兩者擠壓薄膜狀態(tài)時，回到原位，等待夾持下一個薄膜端部14A。前述薄膜接納臺22A取得一定量的剝離的薄膜后，為了下一個薄膜，利用氣缸使之下降，以形成一定的空間。
如上所述，沿著由進給裝置24依次送過來的襯底12，從該進給裝置24的一側利用剝離手18剝去薄膜14，由于置于該進給裝置24的另一側的堆積裝置22中收容上述剝下的薄膜14，所以通過與襯底進給路線24A垂直地移動剝離手18，沒有必要留取大的襯底進給路線24A方向的空間，并且也無需大的裝置高度方向的尺寸。而且由于剝離時薄膜14的變形及移動量小，所以灰塵也少。此外，堆積裝置22由于將剝離了的薄膜14疊合堆垛壓緊，所以薄膜收容部分的容積也小。
另外，在上述實施例中，剝離手18的夾持片18A、18B伴隨著由旋轉式氣缸19A形成的L形臂19B的旋轉，使其位置發(fā)生變化。但本發(fā)明不僅限于上述構成。比如可相對L形臂19B自由擺動地設置剝離手18，當L形臂19B旋轉時，剝離手18通過夾持片18A、18B從薄膜14側受力，可以在其牽引方向改變位置。
此外，分別利用第1驅動裝置22D及第2驅動裝置22E，向上下方向驅動堆積裝置22的第1及第2薄膜壓板22B、22C。但這在薄膜接納工作臺22A上不會使剝離了的薄膜14向側方錯位下落，而且依次有序地壓緊，并且只要能允許剝離手18通過就行。因而，也可以使第2薄膜壓板22C向側方或前后方向移動、從薄膜14的下側抽出。
權利要求
1.一種薄膜剝離方法，剝離其一端部從襯底一端露出且貼在該襯底上的薄膜，其特征在于具有以下工序吸住前述襯底進行定位；利用與薄膜一端部平行的剝離手(ピ-ルハンド)，夾持從已定位的襯底露出的薄膜的一個端部；在夾持著薄膜一個端部使該剝離手與襯底垂直的面內，以襯底面附近為圓弧中心，一邊朝著前述圓弧中心調節(jié)剝離手位置，一邊從襯底面離開，并且向襯底另一端方向作使薄膜一個端部向上卷起的圓弧運動；由剝離手夾持著卷起的薄膜的一個端部向襯底的另一端方向移動，進而超過前述另一端，薄膜的另一端部至少從襯底到剝離位置并向襯底外輸送；在襯底外位置放開前述薄膜。
2.如權利要求1的薄膜剝離方法其特征是，與前述襯底一端平行，在通過該一端附近的直線上，設置卷起前述薄膜一端部的圓弧運動的圓弧中心。
3.如權利要求1或2的薄膜剝離方法，其特征是，把前述薄膜的一個端部作為前端或后端，沿進給路線在一個方向上輸送前述襯底，在通過前述剝離手夾持以前，停止襯底的進給，并且在吸附襯底以后在與襯底平行的平面內旋轉90°，在與配置在襯底進給路線側面的剝離手相對的位置上使前述薄膜的一個端部移動。
4.如權利要求1、2或3的薄膜剝離方法，其特征是，將由前述剝離手向襯底外移動的薄膜在放開時裝入，依次堆積收容。
5.一種薄膜剝離裝置，用于剝離一端部從襯底一端露出且貼在該襯底上的薄膜，其特征是它包括吸附裝置，吸附前述襯底，使其在水平位置固定；剝離手，設置有一對自由開閉的夾持片，夾持從用前述吸附裝置固定了的襯底露出的前述薄膜一端部，同時，就這樣夾持著，在與襯底垂直的平面內，一邊從襯底表面向剝離方向分離，一邊朝襯底的另一端方向作大體為圓弧狀運動，這時，前述一對夾持片大致朝著前述圓弧中心；剝離手進給裝置，沿前述襯底上方越過該襯底的另一端水平地輸送夾著薄膜一端部的剝離手，所到達的位置距另一端至少是大于襯底長度的距離。
6.如權利要求5的薄膜剝離裝置，其特征是，前述吸附裝置包括以吸附襯底的狀態(tài)在水平面內旋轉的轉動機構，前述剝離手的一對夾持片呈開啟狀態(tài)，在用前述轉動機構使襯底旋轉時，位于前述薄膜一端部的旋轉軌跡的上下高度處。
7.如權利要求6的薄膜剝離裝置，其特征是，在前述轉動機構和前述剝離手之間位置，設置決定該薄膜一端部水平面內旋轉軌跡上下高度位置的薄膜端部支撐臺，當通過前述轉動機構使襯底旋轉時，從下方相對自由滑動地接觸到前述薄膜一端部。
8.如權利要求7的薄膜剝離裝置，其特征是，前述剝離手相對前述薄膜端部支撐臺上的薄膜一端部，在夾持該薄膜一端部的位置和待機位置之間自由進出，并且前述薄膜端部支撐臺備置允許前述剝離手進退的進出槽。
9.如權利要求5至8中任一項的薄膜剝離裝置，其特征是，前述剝離手包括旋轉部件，在水平并且與前述薄膜一端部平行的旋轉中心軸周圍轉動；前述一對夾持片，朝著前述旋轉中心軸方向安裝在該旋轉部件上。
10.如權利要求9的薄膜剝離裝置，其特征是，前述旋轉部件的旋轉中心軸通過前述襯底一端附近配置。
11.如權利要求5至10中任一項的薄膜剝離裝置，其特征是，設置堆積裝置，它對著前述吸附裝置，由前述剝離手配置在薄膜剝離方向一側，依次壓入堆垛由剝離手剝離的大致水平地輸送過來的薄膜。
12.如
權利要求
1的薄膜剝離裝置，其特征是，前述堆積裝置由下述部分構成水平薄膜接納工作臺，其上下位置可自由調節(jié)地配置在由前述剝離手剝離的薄膜的大體水平移動軌跡的下方；上下自由移動的第1薄膜壓板，它處于該薄膜接納工作臺上方，水平并且向與前述剝離薄膜的移動方向垂直方向伸展；上下自由移動的一對第2薄膜壓板，它們處于前述薄膜接納工作臺上方，分置在前述第1薄膜壓板的兩側，與其平行且水平地配置；分別上下驅動前述第1薄膜壓板和第2薄膜壓板的第1驅動裝置及第2驅動裝置。
13.如權利要求12的薄膜剝離裝置，其特征是，前述第1驅動裝置及第2驅動裝置使得前述剝離了的薄膜用剝離手逐步移動到薄膜接納工作臺上，這對，分別使第1薄膜壓板定位在薄膜移動軌跡上面，第2薄膜壓板定位在薄膜移動軌跡下面，放開該薄膜，并使其落在薄膜接納工作臺上及第2薄膜壓板上方，然后使第1薄膜壓板下降壓住薄膜，第2薄膜壓板舉起落下的薄膜兩端，在薄膜的上方抽出，接著第2薄膜壓板下降壓住薄膜，第1薄膜壓板上升，形成與薄膜之間間隔。
14.如權利要求5至13中任一項的薄膜剝離裝置，其特征是，它有如下結構前述襯底，其薄膜露出一端部作為前端或后端，通過進給裝置被輸送；前述吸附裝置配置在由該進給裝置形成的進給路線下方，它包括用于吸附前述襯底，并且從進給路線舉起，在水平面內旋轉90°的轉盤；前述剝離手配置在與已旋轉90°的薄膜一端部相對的位置上；前述剝離手進給裝置備有導向裝置，其被配置成要能在與前述進給路線垂直的方向上引導前述剝離手越過前述襯底上方；沿該導向裝置使前述剝離手作往復運動的剝離手驅動裝置。
全文摘要
本發(fā)明目的是自動地從襯底剝離一端部從襯底露出地貼著的薄膜。其構成是由吸附裝置16的轉盤16B吸住由進給裝置24送過來的襯底12，使其在水平面內旋轉，并使薄膜11的一端部14A與待機狀態(tài)的剝離手18相對，通過剝離手18夾住該一端部14A，就這樣在垂直面內旋轉，并且利用剝離手進給裝置20隔著襯底進給路線24把薄膜14送至另一側的堆積裝置22上面，從襯底剝下薄膜14，通過堆積裝置22依次堆積上述薄膜。
文檔編號H05K3/06GK1119404SQ9510650
公開日1996年3月27日 申請日期1995年8月3日 優(yōu)先權日1994年8月3日
發(fā)明者濱村文雄 申請人:蘇馬呂株式會社