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一種選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12442736閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu),其特征在于,包括多個(gè)紅外選擇性熱發(fā)射單元,多個(gè)所述紅外選擇性熱發(fā)射單元按周期p呈矩陣式排列分布;

每個(gè)所述紅外選擇性熱發(fā)射單元包括由下到上依次設(shè)置的襯底層、金屬背板、介質(zhì)層和金屬片層,所述金屬片層包括第一金屬片、第二金屬片、第三金屬片和第四金屬片,所述第一金屬片、第二金屬片、第三金屬片和第四金屬片按照2*2的陣列設(shè)置在所述介質(zhì)層上,且所述第一金屬片、第二金屬片、第三金屬片和第四金屬片的邊長均不相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu),其特征在于,所述襯底層由Si片制成,所述襯底層的厚度為0.5mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬背板和所述金屬片層均由金制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu),其特征在于,所述介質(zhì)層材料為損耗性的氮化硅,所述氮化硅的介電常數(shù)為3.8,損耗角正切為0.025。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬背板的厚度為0.1μm,所述介質(zhì)層的厚度為0.19μm,所述金屬片層的厚度為0.08μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu),其特征在于,所述周期p為5.2μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性輻射紅外隱身結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬片的邊長為1.21μm,所述第二金屬片的邊長為1.28μm,所述第三金屬片的邊長為1.37μm,所述第四金屬片的邊長為1.45μm。

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