一種新型真空設(shè)備的排氣裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種新型真空設(shè)備的排氣裝置，包括爐體、水冷裝置、閥泵，所述爐體內(nèi)安裝有石英坩堝，所述石英坩堝外圍設(shè)有石墨護(hù)板，且在石墨護(hù)板的下端面安裝有支撐底板，所述支撐底板下表面安裝有隔熱底板；所述隔熱底板的兩端固定連接有隔熱側(cè)板，且在兩側(cè)的兩塊隔熱側(cè)板上端連接有隔熱頂板；所述石英坩堝的外側(cè)還安裝有環(huán)形加熱板；所述水冷裝置安裝在爐體頂面上，該水冷裝置通過(guò)排氣管依次通過(guò)爐體上壁和隔熱頂板貫通到石英坩堝內(nèi)；水冷裝置通過(guò)抽氣管路與閥泵相連通。本實(shí)用新型可提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、成本較低的新型真空設(shè)備的排氣裝置，可以延長(zhǎng)附屬產(chǎn)品使用壽命，可以投入生產(chǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種新型真空設(shè)備的排氣裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種新型真空設(shè)備的排氣裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在應(yīng)用的真空熔煉技術(shù)是在無(wú)氧氣氛下對(duì)固體硅材料進(jìn)行熔化，現(xiàn)有技術(shù)中的熔煉設(shè)備包括真空罩、熔煉室和模具，目前廣泛應(yīng)用于制備多晶硅領(lǐng)域。其工作過(guò)程是:先將真空罩內(nèi)的空氣抽除，再將熔煉室內(nèi)的待處理材料加熱直至融化，然后將融化后的熔液倒入模具內(nèi)成型。此時(shí)氣體雜質(zhì)的排出是由爐壁排出設(shè)備外。
[0003]上述方式的缺陷在于:
[0004]1、揮發(fā)性雜質(zhì)會(huì)在揮發(fā)的過(guò)程中與石墨和碳?xì)址磻?yīng)，出現(xiàn)石墨和碳?xì)质軣釗p耗，減少石墨壽命，容易使石墨脆斷；
[0005]2、揮發(fā)性雜質(zhì)會(huì)與保溫碳?xì)址磻?yīng)，吸附在保溫碳?xì)值目p隙處，使石墨和碳?xì)謮勖s短。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種用于連接光纖的固定夾緊裝置。
[0007]為解決技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的解決方案是:
[0008]提供一種新型真空設(shè)備的排氣裝置，包括爐體、水冷裝置、閥泵，其特征在于，所述爐體內(nèi)安裝有石英坩堝，所述石英坩堝外圍設(shè)有石墨護(hù)板，且在石墨護(hù)板的下端面安裝有支撐底板，所述支撐底板下表面安裝有隔熱底板；所述隔熱底板的兩端固定連接有隔熱側(cè)板，且在兩側(cè)的兩塊隔熱側(cè)板上端連接有隔熱頂板；所述石英坩堝的外側(cè)還安裝有環(huán)形加熱板；所述水冷裝置安裝在爐體頂面上，該水冷裝置通過(guò)排氣管依次通過(guò)爐體上壁和隔熱頂板貫通到石英坩堝內(nèi)；水冷裝置通過(guò)抽氣管路與閥泵相連通。
[0009]本實(shí)用新型中，所述延伸到石英坩堝內(nèi)的排氣管上安裝有過(guò)濾器。
[0010]本實(shí)用新型中，所述抽氣管路上安裝有閥門(mén)。
[0011 ] 本實(shí)用新型中，所述爐體一側(cè)還開(kāi)設(shè)有爐門(mén)。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0013]本實(shí)用新型可提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、成本較低的新型真空設(shè)備的排氣裝置，可以延長(zhǎng)附屬產(chǎn)品使用壽命，可以投入生產(chǎn)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0015]圖1為本實(shí)用新型中的的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖中:爐體1，隔熱側(cè)板2，石墨護(hù)板3，石英坩堝4，隔熱底板5，支撐底板6，爐門(mén)7，環(huán)形加熱板8，過(guò)濾器9，隔熱頂板10，排氣管11，水冷裝置12，閥門(mén)13，抽氣管路14，閥泵
15。

【具體實(shí)施方式】
[0017]如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種新型真空設(shè)備的排氣裝置的具體實(shí)施例，包括爐體1、水冷裝置12、閥泵15，所述爐體I內(nèi)安裝有石英坩堝4，所述石英坩堝4外圍設(shè)有石墨護(hù)板3,且在石墨護(hù)板3的下端面安裝有支撐底板6,所述支撐底板6下表面安裝有隔熱底板5 ;所述隔熱底板5的兩端固定連接有隔熱側(cè)板2，且在兩側(cè)的兩塊隔熱側(cè)板5上端連接有隔熱頂板10 ;所述石英坩堝4的外側(cè)還安裝有環(huán)形加熱板8 ;所述水冷裝置12安裝在爐體I頂面上，該水冷裝置12通過(guò)排氣管11依次通過(guò)爐體上壁和隔熱頂板貫通到石英坩堝4內(nèi)；水冷裝置12通過(guò)抽氣管路14與閥泵相連通。
[0018]其中，所述延伸到石英坩堝4內(nèi)的排氣管11上安裝有過(guò)濾器。所述抽氣管路14上安裝有閥門(mén)13。所述爐體I 一側(cè)還開(kāi)設(shè)有爐門(mén)7。
[0019]上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型真空設(shè)備的排氣裝置，包括爐體、水冷裝置、閥泵，其特征在于，所述爐體內(nèi)安裝有石英坩堝，所述石英坩堝外圍設(shè)有石墨護(hù)板，且在石墨護(hù)板的下端面安裝有支撐底板，所述支撐底板下表面安裝有隔熱底板；所述隔熱底板的兩端固定連接有隔熱側(cè)板，且在兩側(cè)的兩塊隔熱側(cè)板上端連接有隔熱頂板；所述石英坩堝的外側(cè)還安裝有環(huán)形加熱板；所述水冷裝置安裝在爐體頂面上，該水冷裝置通過(guò)排氣管依次通過(guò)爐體上壁和隔熱頂板貫通到石英坩堝內(nèi)；水冷裝置通過(guò)抽氣管路與閥泵相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的排氣裝置，其特征在于，所述延伸到石英坩堝內(nèi)的排氣管上安裝有過(guò)濾器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的排氣裝置，其特征在于，所述抽氣管路上安裝有閥門(mén)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的排氣裝置，其特征在于，所述爐體一側(cè)還開(kāi)設(shè)有爐門(mén)。
【文檔編號(hào)】C30B29/06GK204224741SQ201420660099
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月7日
【發(fā)明者】張銀華 申請(qǐng)人:富陽(yáng)科信經(jīng)濟(jì)信息咨詢(xún)有限公司