基板吸附載臺(tái)的制作方法
【專利摘要】一種基板吸附載臺(tái)，其包含：一載臺(tái)本體、一第一阻氣模塊及數(shù)個(gè)第二阻氣模塊。載臺(tái)本體具有數(shù)個(gè)吸附孔。第一阻氣模塊設(shè)置于載臺(tái)本體的一側(cè)，以可選擇地關(guān)閉至少一列X方向的吸附孔。數(shù)個(gè)第二阻氣模塊分別設(shè)置于載臺(tái)本體的另一側(cè)，各第二阻氣模塊可選擇地關(guān)閉至少一排Y方向的吸附孔。由此，使用者可以依據(jù)實(shí)際基板的長(zhǎng)寬大小，而選擇性地關(guān)閉未被基板所遮蔽的X、Y方向的吸附孔，進(jìn)而可有效地使基板吸附于載臺(tái)上。
【專利說明】基板吸附載臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種基板吸附載臺(tái)，特別涉及一種可以依據(jù)基板的長(zhǎng)寬大小，而選擇性關(guān)閉X、Y方向的吸附孔的基板吸附載臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]在印刷電路板的工藝中，必須將印刷電路板放置于吸附載臺(tái)上，通過吸附載臺(tái)上的各吸附孔，所產(chǎn)生的吸附力，使電路板固定于吸附載臺(tái)上，借以便于進(jìn)行后續(xù)相關(guān)工藝。然，在實(shí)務(wù)應(yīng)用中，上述的電路板吸附載臺(tái)，仍存在著諸多問題。其中又以吸附載臺(tái)無(wú)法依據(jù)不同大小的電路板，而對(duì)應(yīng)啟閉吸附孔為最大的問題；因?yàn)椋绻∷㈦娐钒逦闯浞直晃接谖捷d臺(tái)，會(huì)導(dǎo)致印刷電路板在工藝中產(chǎn)生破裂、損壞或無(wú)法對(duì)準(zhǔn)的問題，如此一來將造成印刷電路板的工藝良率下降，并且影響產(chǎn)品的品質(zhì)。因此，如何使電路板吸附載臺(tái)可以依據(jù)電路板大小，而關(guān)閉非電路板對(duì)應(yīng)的吸附孔為當(dāng)前業(yè)界急需解決的問題。緣此，本發(fā)明人有感上述問題的可改善，乃潛心研究并配合學(xué)理的運(yùn)用，而提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述問題的本實(shí)用新型。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種基板吸附載臺(tái)，其可以依據(jù)基板的長(zhǎng)寬大小，而選擇性地關(guān)閉至少一列X方向的吸附孔及至少一排Y方向的吸附孔，由此可解決習(xí)知電路板吸附載臺(tái)，無(wú)法有效地依據(jù)電路板大小，而關(guān)閉其他非對(duì)應(yīng)于電路板的吸附孔，進(jìn)而造成吸附效果不佳的問題。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種基板吸附載臺(tái)，其包含:一載臺(tái)本體、一第一阻氣模塊及數(shù)個(gè)第二阻氣模塊。載臺(tái)本體具有數(shù)個(gè)吸附孔。第一阻氣模塊設(shè)置于載臺(tái)本體的一側(cè)，以可選擇地關(guān)閉至少一列X方向的該些吸附孔。數(shù)個(gè)第二阻氣模塊設(shè)置于載臺(tái)本體的另一側(cè)，各第二阻氣模塊可選擇地關(guān)閉至少一排Y方向的該些吸附孔。
[0005]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的一個(gè)實(shí)施方式中，所述基板吸附載臺(tái)進(jìn)一步包含:
[0006]一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數(shù)個(gè)主氣孔；
[0007]數(shù)個(gè)第一氣道，各該第一氣道分別與該主氣道的各該主氣孔相連通，且各該第一氣道包含數(shù)個(gè)第一氣孔；以及
[0008]數(shù)個(gè)第二氣道，各該第二氣道包含數(shù)個(gè)第二氣孔，各該第二氣孔分別對(duì)應(yīng)與一排的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道的各該第一氣孔分別對(duì)應(yīng)與該第二氣道相連通；
[0009]其中，該第一阻氣模塊可活動(dòng)地設(shè)置于該主氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一主氣孔，各該第二阻氣模塊分別設(shè)置于各該第二氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一該第二氣孔。
[0010]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的另一個(gè)實(shí)施方式中，各該第一氣道平行于X方向設(shè)置，各該第二氣道平行于Y方向設(shè)置。
[0011]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的另一個(gè)實(shí)施方式中，各該第一氣道平行于Y方向設(shè)置，各該第二氣道平行于X方向設(shè)置。[0012]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的另一個(gè)實(shí)施方式中，各該第二阻氣模塊包含一軸體及數(shù)個(gè)對(duì)應(yīng)于該排的該些吸附孔數(shù)量的阻隔單元，各該阻隔單元間隔地設(shè)置于該軸體上，而每?jī)蓚€(gè)該阻隔單元間形成一連通空間。
[0013]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的另一個(gè)實(shí)施方式中，各該第二氣道包含數(shù)個(gè)與各該第二氣孔錯(cuò)位設(shè)置的連通孔，各該連通孔分別與各該第一氣孔相連通，且各該第二阻氣模塊的兩兩該阻隔單元的間距，大于或等于相鄰的該連通孔與該第二氣孔的間距。
[0014]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型還提供一種基板吸附載臺(tái)，其包含:一載臺(tái)本體、一第一阻氣模塊及一第二阻氣模塊。載臺(tái)本體具有數(shù)個(gè)吸附孔。第一阻氣模塊設(shè)置于載臺(tái)本體的一側(cè)，以可選擇地關(guān)閉至少一列X方向的該些吸附孔。第二阻氣模塊設(shè)置于載臺(tái)本體的另一側(cè)，以可選擇地關(guān)閉至少一排Y方向的該些吸附孔。
[0015]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的一個(gè)實(shí)施方式中，所述基板吸附載臺(tái)進(jìn)一步包含:
[0016]一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數(shù)個(gè)主氣孔；
[0017]數(shù)個(gè)第一氣道，各該第一氣道分別與X方向各列的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道分別與各該主氣孔相連通；
[0018]一次氣道，其與該抽氣裝置相連接，且該次氣道包含數(shù)個(gè)次氣孔；以及
[0019]數(shù)個(gè)第二氣道，各該第二氣道分別與Y方向各排的該些吸附孔相連通，且各該第二氣道分別與各該次氣孔相連通；
[0020]其中，該第一阻氣模塊可活動(dòng)地設(shè)置于該主氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一該主氣孔，該第二阻氣模塊設(shè)置于該次氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一該次氣孔。
[0021]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的另一個(gè)實(shí)施方式中，該第一阻氣模塊或是該第二阻氣模塊包含一軸體及數(shù)個(gè)對(duì)應(yīng)于X方向各排的該些吸附孔或是Y方向各列的該些次氣孔數(shù)量的阻隔單元，各該阻隔單元間隔地設(shè)置于該軸體上，而每?jī)蓚€(gè)該阻隔單元間形成一連通空間。
[0022]在本發(fā)明的基板吸附載臺(tái)的另一個(gè)實(shí)施方式中，該第一阻氣模塊或是該第二阻氣模塊包含一阻氣單元及一操作單元，該阻氣單元可活動(dòng)地設(shè)置于該主氣道或是該次氣道中，且遠(yuǎn)離該主氣道或該次氣道與該抽氣裝置相連接的位置；該操作單元與該阻氣單元機(jī)械連接，以控制該阻氣單元于該主氣道或該次氣道中的位置，以選擇性地關(guān)閉其中一該主氣孔或是其中一該次氣孔。
[0023]本實(shí)用新型的有益效果為:通過可選擇性移動(dòng)以關(guān)閉至少一列X方向吸附孔的第一阻氣模塊，及可選擇性移動(dòng)以關(guān)閉至少一排Y方向吸附孔的第二阻氣模塊，以達(dá)到可依據(jù)基板長(zhǎng)寬大小，關(guān)閉未被基板遮蔽的吸附孔，而僅保留被基板遮蔽的吸附孔，進(jìn)而可使有效提升吸附基板的能力。
[0024]為了能更進(jìn)一步了解本實(shí)用新型為達(dá)成既定目的所采取的技術(shù)、方法及功效，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本實(shí)用新型明的詳細(xì)說明、附圖，相信本實(shí)用新型的目的、特征與特點(diǎn)，當(dāng)可由此得以深入且具體的了解，然而所附圖式僅提供參考與說明用，并非用來對(duì)本實(shí)用新型加以限制者。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的示意圖。[0026]圖2為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第一實(shí)施例的上視透視圖。
[0027]圖3為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第一實(shí)施例的第一阻氣模塊的剖面示意圖。
[0028]圖4為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第一實(shí)施例的第二阻氣模塊及載臺(tái)本體的剖面示意圖。
[0029]圖5為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第一實(shí)施例的第二阻氣模塊關(guān)閉一排Y方向吸附孔的剖視示意圖。
[0030]圖6為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第一實(shí)施例的第二阻氣模塊導(dǎo)通一排Y方向吸附孔的剖面示意圖。
[0031]圖7為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第一實(shí)施例的第一阻氣模塊及第二阻氣模塊相互連通的剖面示意圖。
[0032]圖8為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第二實(shí)施例的示意圖。
[0033]圖9為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第二實(shí)施例的上視透視圖。
[0034]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0035]1、I’:基板吸附載臺(tái)
[0036]10、10’:載臺(tái)本體
[0037]101、101’:吸附孔
[0038]11、11’:第一氣道
[0039]111:第一氣孔
[0040]12、12’:第二氣道
[0041]121:第二氣孔
[0042]122:連通孔
[0043]13:擋板
[0044]20、20’:第一阻氣模塊
[0045]21、21’:主氣道
[0046]211、211，:主氣孔
[0047]212、212’:抽氣孔
[0048]22、22’:阻氣單元
[0049]23、23’:操作單元
[0050]30:第二阻氣模塊
[0051]301:操作部
[0052]31:軸體
[0053]32:阻隔單元
[0054]33:連通空間
[0055]40、40，:基板
[0056]50:第二阻氣模塊
[0057]51:次氣道
[0058]511:次氣孔
[0059]512:抽氣孔
[0060]52:阻氣單元[0061]53:操作單元【具體實(shí)施方式】
[0062]請(qǐng)參閱圖1，其為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的示意圖。如圖所示，基板吸附載臺(tái)
I包含:一載臺(tái)本體10、一第一阻氣模塊20及數(shù)個(gè)第二阻氣模塊30。載臺(tái)本體10包含數(shù)個(gè)規(guī)則排列的吸附孔101 ;載臺(tái)本體10機(jī)械連接一抽氣裝置(圖未示，較佳地可以是抽真空機(jī))，以使各吸附孔101具有一吸附力。第一阻氣模塊20設(shè)置于載臺(tái)本體10的其中一側(cè)，且具有一操作單元23，用以選擇性地關(guān)閉至少一列X方向的吸附孔101。各第二阻氣模塊30分別對(duì)應(yīng)于Y方向的各排吸附孔101設(shè)置，以選擇性地關(guān)閉相對(duì)應(yīng)的該排吸附孔101。具體地說，使用者可以依據(jù)實(shí)際設(shè)置于載臺(tái)本體10上的基板40的長(zhǎng)寬大小，以將操作單元23移動(dòng)至鄰近基板X方向側(cè)邊的吸附孔101，由此關(guān)閉基板的該側(cè)邊以外的吸附孔101 ;相同地，可以通過按壓鄰近于基板40的Y方向側(cè)邊的第二阻氣模塊30，以關(guān)閉該側(cè)邊以外不被基板40所遮蔽的吸附孔101 ;由此可使載臺(tái)本體10上該些被基板40所覆蓋的吸附孔101具有吸附力，而其余未被覆蓋的吸附孔101則不具有吸附力，進(jìn)而可使載臺(tái)本體10的吸附力集中于基板40所覆蓋的范圍。其中，所述的基板40例如可以是電路基板或是面板等，于此不多加限制。
[0063]〔第一實(shí)施例〕
[0064]請(qǐng)一并參閱圖2至圖7，其為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第一實(shí)施例的示意圖。如圖2所示，其顯示基板吸附載臺(tái)I的上視透視圖?；逦捷d臺(tái)I包含一載臺(tái)本體10、一第一阻氣模塊20及數(shù)個(gè)第二阻氣模塊30。載臺(tái)本體10包含數(shù)個(gè)規(guī)則排列的吸附孔101、數(shù)個(gè)分別平行于X方向設(shè)置的第一氣道11及數(shù)個(gè)平行于Y方向設(shè)置的第二氣道12。第一氣道11包含數(shù)個(gè)第一氣孔111，第二氣道包含數(shù)個(gè)第二氣孔121，且各第二氣孔121分別對(duì)應(yīng)與一個(gè)吸附孔101相連通，且各列第一氣道11的各第一氣孔111分別對(duì)應(yīng)與一排第二氣道12相互連通，亦即各排第二氣道12的各第二氣孔121分別與其中一列的第一氣道11相連通。
[0065]如圖2及圖3所示，第一阻氣模塊20包含一主氣道21、一阻氣單元22及一操作單元23，主氣道21包含數(shù)個(gè)主氣孔211及一抽氣孔212，各主氣孔211分別與各第一氣道11相連通，抽氣孔212與一抽氣裝置(圖未示)相連接。阻氣單元22可活動(dòng)地設(shè)置于主氣道21中；操作單元23外露于第一阻氣模塊20外，且與阻氣單元22機(jī)械連接，由此控制調(diào)整阻氣單元22于主氣道21中的位置。其中，阻氣單元22可以是活塞等，可完全密封阻隔氣體的構(gòu)件；第一阻氣模塊20可以是與載臺(tái)本體10 —體形成，又或者可以是兩個(gè)可拆卸的獨(dú)立構(gòu)件。
[0066]舉例來說，阻氣單元22可以是設(shè)置于與主氣道21設(shè)置有抽氣孔212的相反端，亦即阻氣單元22的原始位置可以是設(shè)置于主氣道21中，與抽氣孔212相反的一端。當(dāng)阻氣單兀22未遮蔽任何主氣孔211而設(shè)置于主氣道21的一端時(shí),各主氣孔211與抽氣孔212相連通，而使各個(gè)與主氣孔211相連通的第一氣道11所對(duì)應(yīng)連通的各列X方向的吸附孔101呈現(xiàn)具有吸附力的狀態(tài)；當(dāng)阻氣單元22受操作單元23操作，向抽氣孔212移動(dòng)，而遮蔽其中一主氣孔211時(shí)，被遮蔽的主氣孔211及位于阻氣單元22后方而遠(yuǎn)離抽氣孔212的主氣孔211，受阻氣單元22的阻隔，而無(wú)法與抽氣孔212相連通，進(jìn)而使其所對(duì)應(yīng)的該列X方向的吸附孔101不具有吸附力，而達(dá)到關(guān)閉X方向吸附孔101的作用。
[0067]換言之，阻氣單元22與抽氣孔212分別設(shè)置于主氣道21的兩端時(shí)，在操作單元23未移動(dòng)(設(shè)置于原始位置，而未遮蔽任何一個(gè)主氣孔211)時(shí)，各列X方向的吸附孔101呈現(xiàn)具有吸附力的狀態(tài)，而隨著操作單元23逐漸向抽氣孔212靠近的同時(shí)，相對(duì)應(yīng)于操作單元23的該列X方向的吸附孔101被阻氣單元22阻隔，而不具有吸附力，亦即操作單元23經(jīng)過的各列X方向的吸附孔101皆被阻氣單元22阻隔而不具吸附力。
[0068]相反地，在另外的方式中，阻氣單元22亦可以是與抽氣孔212設(shè)置于主氣道21的同一端，亦即阻氣單元22的原始位置位于抽氣孔212上方，而遮蔽抽氣孔212，而使得各吸附孔101呈現(xiàn)不具吸附力的狀態(tài)。當(dāng)阻氣單元22受操作單元23操控，而遠(yuǎn)離抽氣孔212時(shí)，操作單元23所經(jīng)過的各列X方向的吸附孔101不再受阻氣單元22阻隔，可與抽氣孔212相連通而具有吸附力。簡(jiǎn)單地說，依據(jù)實(shí)際使用所需，可以通過阻氣單元22與抽氣孔212的相對(duì)應(yīng)位置的設(shè)計(jì)(阻氣單元22遮蔽抽氣孔212或不遮蔽而遠(yuǎn)離抽氣孔212)，以決定在阻氣單元22未移動(dòng)的原始位置上時(shí)，各吸附孔101的吸附狀態(tài)(具有或不具有吸附力)。
[0069]如圖4所示，各第二氣道12可以包含有數(shù)個(gè)第二氣孔121及數(shù)個(gè)連通孔122 ;各第二氣孔121分別對(duì)應(yīng)與一個(gè)吸附孔101相連通，而各連通孔122分別對(duì)應(yīng)與一個(gè)第一氣孔111相連通，且各第一氣孔111又與第一氣道11相連通，亦即各吸附孔101可與各第一氣道11相連通。其中，各第二氣孔121及各連通孔122可以是如圖中繪示的錯(cuò)位地設(shè)置于第二氣道12中，亦可以是設(shè)置于相對(duì)應(yīng)的位置上，于此不加以限制。各第二阻氣模塊30包含一軸體31及數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的阻隔單元32，而各個(gè)阻隔單元32間形成有一連通空間33。在實(shí)際應(yīng)用中，第二阻氣模塊30的至少一端可以具有一操作部301 ;各阻隔單元32可以是與軸體31 —體成形，或是另外套設(shè)于軸體31上的獨(dú)立構(gòu)件，且各阻隔單元32更可以選擇性地配合設(shè)置有密封橡圈。
[0070]如圖5所示，其顯示第二阻氣模塊30設(shè)置于第二氣道12中，且第二阻氣模塊30的操作部301受壓時(shí)的剖視圖。如圖所示，當(dāng)?shù)诙铓饽K30的操作部301受壓時(shí)，各阻隔單元32對(duì)應(yīng)阻隔各第二氣孔121與各連通孔122間的連通，而阻隔吸附孔101與第一氣道11的連通，由此關(guān)閉第二阻氣模塊30所對(duì)應(yīng)的該排Y方向的吸附孔101，使其不具有吸附力。
[0071]如圖6及圖7所示，當(dāng)?shù)诙铓饽K30的操作部301受拉，而使軸體31及各阻隔單元32于第二氣道12中移動(dòng)，且使各阻隔單元32間的連通空間33對(duì)應(yīng)位于第二氣孔121與連通孔122間時(shí)，各第二氣孔121可通過該連通空間33與其相對(duì)應(yīng)的連通孔122相連通，而使各吸附孔101可與第一氣道11及主氣道21相連通，進(jìn)而使各吸附孔101具有吸附力。在實(shí)際應(yīng)用中，第二阻氣模塊30與第二氣道12間可以對(duì)應(yīng)設(shè)置有定位元件(例如各式卡榫或是凸點(diǎn)與凹槽的設(shè)計(jì))，由此確使第二阻氣模塊30移動(dòng)至預(yù)設(shè)的導(dǎo)通或阻隔各第二氣孔121與各連通孔122的特定位置。
[0072]特別一提的是，于本實(shí)施例中，是以按壓第二阻氣模塊30的操作部301為關(guān)閉對(duì)應(yīng)的該排Y方向的吸附孔101，而以抽拉第二阻氣模塊30的操作部301為開啟吸附孔101為例，但實(shí)際應(yīng)用中，亦可以是配合第二阻氣模塊30的各阻隔單元32、各第二氣孔121及各連通孔122的設(shè)計(jì)，改以按壓操作部301時(shí)為開啟吸附孔101，抽拉操作部301時(shí)為關(guān)閉吸附孔101。又，在另外的實(shí)施方式中，亦可以是使第二阻氣模塊30的兩端皆外露于載臺(tái)本體10夕卜，亦即第二阻氣模塊30具有兩個(gè)外露的操作部301，由此使用者可以只通過按壓的方式進(jìn)行吸附孔101的啟閉；例如，使用者可以先行按壓其中一側(cè)的操作部301以關(guān)閉該排Y方向的吸附孔101，而當(dāng)使用者欲再次開啟該排Y方向的吸附孔101時(shí)，則可以是按壓第二阻氣模塊30另一側(cè)的操作部301。
[0073]請(qǐng)復(fù)參圖1及圖2 (圖中箭號(hào)表示氣體流向)，當(dāng)基板40設(shè)置于載臺(tái)本體10上時(shí)，使用者可以將第一阻氣模塊20的操作單元23，移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于與基板40側(cè)邊最近，而未被基板40遮蔽的吸附孔101的位置，由此關(guān)閉該列X方向的鄰近于基板40而未被基板40所遮蔽的吸附孔101 ;同樣地，使用者可以通過按壓鄰近于基板40側(cè)邊的第二阻氣模塊30，由此關(guān)閉鄰近而未被基板40所遮蔽的Y方向的吸附孔101。簡(jiǎn)單地說，如圖1所示，載臺(tái)本體10上的吸附孔101，除了被基板40所覆蓋的8個(gè)吸附孔101具有吸附力外，其余吸附孔101皆被第一阻氣模塊20或是第二阻氣模塊30所遮蔽，而不具有吸附力。
[0074]值得一提的是，本實(shí)施例圖式中所繪示的吸附孔101的排列方式及其數(shù)量，以及第二阻氣模塊30的數(shù)量，可以是依據(jù)實(shí)際需求加以設(shè)計(jì)，并不局限于圖式中的方式。另外，于本實(shí)施例中，主氣道21為形成于第一阻氣模塊20內(nèi)的通道,而各第一氣道11及各第二氣道12為形成于載臺(tái)本體10內(nèi)的通道，但實(shí)際應(yīng)用中，主氣道21、各第一氣道11及各第二氣道12亦可以是獨(dú)立的氣管，而非形成于載臺(tái)本體10內(nèi)部的通道。
[0075]特別說明的是，于上述本實(shí)施例中，是以第一阻氣模塊20設(shè)置于載臺(tái)本體10的Y方向的一側(cè)，而與各個(gè)平行于X方向的第一氣道11相連通；且第二阻氣模塊30是對(duì)應(yīng)設(shè)置于各個(gè)平行于Y方向的第二氣道12中為例,但實(shí)際應(yīng)用中，并不局限于此,第一阻氣模塊20及各第二阻氣模塊30可以是相反設(shè)置。
[0076]〔第二實(shí)施例〕
[0077]請(qǐng)一并參閱圖8及圖9，其為本實(shí)用新型的基板吸附載臺(tái)的第二實(shí)施例的示意圖。如圖8所示，基板吸附載臺(tái)I’包含一載臺(tái)本體10’、一第一阻氣模塊20’及一第二阻氣模塊50。第一阻氣模塊10’及第二阻氣模塊50分別設(shè)置于載臺(tái)本體10’的兩側(cè)邊，以分別對(duì)應(yīng)啟閉各列X方向的吸附孔101’，以及啟閉各排Y方向的吸附孔101’。
[0078]如圖9所示，載臺(tái)本體10’包含數(shù)個(gè)平行于X方向設(shè)置的第一氣道11’及數(shù)個(gè)平行于Y方向設(shè)置的第二氣道12’，且各第一氣道11’分別對(duì)應(yīng)連通于各列X方向的數(shù)個(gè)吸附孔101’，而各第二氣道12’分別對(duì)應(yīng)連通于各排Y方向的數(shù)個(gè)吸附孔101’。其中，各第一氣道11’及各第二氣道12’可以是形成于載臺(tái)本體10’內(nèi)的通道，亦可以是設(shè)置于載臺(tái)本體10’下方的獨(dú)立氣管。
[0079]第一阻氣模塊20’包含一主氣道21’、一阻氣單元22’及一操作單元23’。該主氣道21’包含數(shù)個(gè)主氣孔211’及一抽氣孔212’，且各主氣孔211’分別連通于各列X方向的第一氣道11’。阻氣單元22’設(shè)置于主氣道21’中，且阻氣單元22’與操作單元23’機(jī)械性連接。阻氣單元22’受操作單元23’控制而可于主氣道21’中移動(dòng)，以選擇性地阻隔其中一個(gè)主氣孔211’。
[0080]第二阻氣模塊50包含一次氣道51、一阻氣單元52及一操作單元53。該次氣道51包含數(shù)個(gè)次氣孔511及一抽氣孔512，且各次氣孔511分別連通于各排Y方向的第二氣道12’。阻氣單元52與操作單元53機(jī)械性連接，而受操作單元53控制，以選擇性地阻隔其中一個(gè)次氣孔511。[0081]值得一題的是，第一阻氣模塊20’的阻氣單元22’的原始位置可以是設(shè)置于抽氣孔212’上方，而遮蔽抽氣孔212’，以使得各第一氣道11’的各列X方向的吸附孔101在初始未移動(dòng)操作單元23’下呈現(xiàn)不具吸附力的狀態(tài)；或者可以是如本實(shí)施例圖中所示，阻氣單元22’的原始位置是設(shè)置于主氣道21’中與抽氣孔212’相反的一端，而當(dāng)操作單元23’在原始未被移動(dòng)的情況下，各列X方向的吸附孔101皆呈現(xiàn)具有吸附力的狀態(tài)。相同地，第二阻氣模塊50的阻氣單元52及抽氣孔512亦可以依據(jù)所需設(shè)計(jì)，于此不多贅述。
[0082]請(qǐng)參閱圖9中所繪示的箭頭標(biāo)示，其顯示了第一氣道11’及第二氣道12’中的氣體流向；當(dāng)基板40’設(shè)置于載臺(tái)本體10’上時(shí)，使用者可以依據(jù)基板40’的長(zhǎng)寬，對(duì)應(yīng)將第一阻氣模塊20’的阻氣單元22’及第二阻氣模塊50的阻氣單元52，移動(dòng)至鄰近于基板40’側(cè)邊，而不被基板40’所遮蔽的吸附孔101附近，由此關(guān)閉該些不被基板40’所遮蔽的吸附孔101，由此使載臺(tái)本體10’的吸附力集中于該些被基板40’所遮蔽的吸附孔101，而可有效地將基板40’吸附于載臺(tái)本體10’上。
[0083]在實(shí)際應(yīng)用中，載臺(tái)本體10’更可以配合連接一傾斜裝置(圖未示)，且載臺(tái)本體10’的其中一側(cè)邊更可以包含一擋板13。當(dāng)基板40設(shè)置于載臺(tái)本體10’時(shí)，其可以是先通過傾斜裝置使載臺(tái)本體10’向具有擋板13的方向傾斜，以使基板40’的一側(cè)抵靠于擋板13上，再配合操作調(diào)整第一阻氣模塊20’及第二阻氣模塊50，以關(guān)閉該些未被基板40’所遮蔽的吸附孔101。當(dāng)然，上述調(diào)整方式僅為其中一種實(shí)施方式，實(shí)際操作的流程及其先后順序可以依據(jù)需求加以設(shè)計(jì)調(diào)整。
[0084]特別說明的是，請(qǐng)復(fù)參本實(shí)用新型的第一實(shí)施例，于該實(shí)施例中所載的由一軸體31及數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的阻隔單元32所組成的第二阻氣模塊30，亦可以應(yīng)用于本實(shí)施例所載的第一氣道11’及第二氣道12’中，亦即本實(shí)施例所述的第一阻氣模塊20’及第二阻氣模塊50可以置換為上述第一實(shí)施例中的第二阻氣模塊30。
[0085]惟以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，非意欲局限本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，故舉凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所為的等效變化，均同理皆包含于本實(shí)用新型的權(quán)利保護(hù)范圍內(nèi)，合予陳明。
【權(quán)利要求】
1.一種基板吸附載臺(tái)，其特征在于，該基板吸附載臺(tái)包含: 一載臺(tái)本體，其具有數(shù)個(gè)吸附孔； 一第一阻氣模塊，其設(shè)置于該載臺(tái)本體的一側(cè)，以可選擇地關(guān)閉至少一列X方向的該些吸附孔；以及 數(shù)個(gè)第二阻氣模塊，其設(shè)置于該載臺(tái)本體的另一側(cè)，各該第二阻氣模塊可選擇地關(guān)閉至少一排Y方向的該些吸附孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，所述基板吸附載臺(tái)進(jìn)一步包含: 一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數(shù)個(gè)主氣孔； 數(shù)個(gè)第一氣道，各該第一氣道分別與該主氣道的各該主氣孔相連通，且各該第一氣道包含數(shù)個(gè)第一氣孔；以及 數(shù)個(gè)第二氣道，各該第二氣道包含數(shù)個(gè)第二氣孔，各該第二氣孔分別對(duì)應(yīng)與一排的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道的各該第一氣孔分別對(duì)應(yīng)與該第二氣道相連通； 其中，該第一阻氣模塊可活動(dòng)地設(shè)置于該主氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一主氣孔，各該第二阻氣模塊分別設(shè)置于各該第二氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一該第二氣孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，各該第一氣道平行于X方向設(shè)置，各該第二氣道平行于Y方向設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求 2所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，各該第一氣道平行于Y方向設(shè)置，各該第二氣道平行于X方向設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，各該第二阻氣模塊包含一軸體及數(shù)個(gè)對(duì)應(yīng)于該排的該些吸附孔數(shù)量的阻隔單元，各該阻隔單元間隔地設(shè)置于該軸體上，而每?jī)蓚€(gè)該阻隔單元間形成一連通空間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，各該第二氣道包含數(shù)個(gè)與各該第二氣孔錯(cuò)位設(shè)置的連通孔，各該連通孔分別與各該第一氣孔相連通，且各該第二阻氣模塊的兩兩該阻隔單元的間距，大于或等于相鄰的該連通孔與該第二氣孔的間距。
7.一種基板吸附載臺(tái)，其特征在于，該基板吸附載臺(tái)包含: 一載臺(tái)本體，其具有數(shù)個(gè)吸附孔； 一第一阻氣模塊，其設(shè)置于該載臺(tái)本體的一側(cè)，以可選擇地關(guān)閉至少一列X方向的該些吸附孔；以及 一第二阻氣模塊，其設(shè)置于該載臺(tái)本體的另一側(cè)，以可選擇地關(guān)閉至少一排Y方向的該些吸附孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，所述基板吸附載臺(tái)進(jìn)一步包含: 一主氣道，其與一抽氣裝置相連接，且該主氣道包含數(shù)個(gè)主氣孔； 數(shù)個(gè)第一氣道，各該第一氣道分別與X方向各列的該些吸附孔相連通，且各該第一氣道分別與各該主氣孔相連通； 一次氣道，其與該抽氣裝置相連接，且該次氣道包含數(shù)個(gè)次氣孔；以及數(shù)個(gè)第二氣道，各該第二氣道分別與Y方向各排的該些吸附孔相連通，且各該第二氣道分別與各該次氣孔相連通； 其中，該第一阻氣模塊可活動(dòng)地設(shè)置于該主氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一該主氣孔，該第二阻氣模塊設(shè)置于該次氣道中，以可選擇地關(guān)閉至少一該次氣孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，該第一阻氣模塊或是該第二阻氣模塊包含一軸體及數(shù)個(gè)對(duì)應(yīng)于X方向各排的該些吸附孔或是Y方向各列的該些次氣孔數(shù)量的阻隔單元，各該阻隔單元間隔地設(shè)置于該軸體上，而每?jī)蓚€(gè)該阻隔單元間形成一連通空間。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板吸附載臺(tái)，其特征在于，該第一阻氣模塊或是該第二阻氣模塊包含一阻氣單元及一操作單元，該阻氣單元可活動(dòng)地設(shè)置于該主氣道或是該次氣道中，且遠(yuǎn)離該主氣道或該次氣道與該抽氣裝置相連接的位置；該操作單元與該阻氣單元機(jī)械連接，以控制該阻氣單元于該主氣道或該次氣道中的位置，以選擇性地關(guān)閉其中一該主氣孔或是其中一該次氣孔。
【文檔編號(hào)】H05K3/00GK203775535SQ201420025717
【公開日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2014年1月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月16日
【發(fā)明者】汪秉龍, 陳桂標(biāo), 陳信呈, 彭及盈, 鄭明志 申請(qǐng)人:久元電子股份有限公司