專利名稱：一種磷化銦生長材料烘烤爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種烘烤裝置，更具體地說，本實(shí)用新型涉及一種磷化銦生長材料烘烤爐。
背景技術(shù)：
磷化銦已成為一種制造微波器件和光電集成電路的重要半導(dǎo)體材料。為了能夠提高磷化銦生長材料的質(zhì)量，改善其電學(xué)性質(zhì)，研究和控制磷化銦單晶生長和熱處理過程所產(chǎn)生的缺陷是一條重要的途徑。近幾年來，高溫退火處理方法被用于降低磷化銦單晶中的殘留熱應(yīng)力、改善晶片的電學(xué)均勻性和制備半絕緣磷化銦材料。根據(jù)磷化銦晶體生長需求，烘烤爐在溫度和時(shí)間上要求嚴(yán)苛，需要專門設(shè)計(jì)烘烤爐以滿足所需的精度的要求，以獲得高質(zhì)量的磷化銦生長材料。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種磷化銦生長材料所需烘烤爐，以獲得高質(zhì)量的磷化銦生長材料。本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:提供一種磷化銦生長材料烘烤爐，包括烘烤爐外套、絕緣陶瓷件、加熱棒及石英管。所述烘烤爐外套由兩個(gè)一端封口的翻蓋中空夾套組成，夾套升溫時(shí)蓋緊，降溫時(shí)打開，可節(jié)省生產(chǎn)時(shí)間；夾套外壁由不銹鋼制作；夾套內(nèi)嵌有絕緣陶瓷件及加熱棒，加熱棒為石墨電阻加熱棒，其通過絕緣陶瓷件平行均勻排列固定在夾套內(nèi)壁；石墨電阻加熱棒分8組，每組中的石墨電阻由三根加熱棒相互串聯(lián)在一起，每組石墨電阻加熱棒單獨(dú)控制；石墨電阻加熱棒的粗細(xì)、長短可根據(jù)爐體最高加熱溫度和爐體大小確定；不銹鋼外壁與絕緣陶瓷件之間填充有隔熱材料，以起保溫作用。所述石英管一端封口，另一端開口，與真空抽取系統(tǒng)連接時(shí)能將烤出來的副產(chǎn)物和雜質(zhì)能及時(shí)的排出。本實(shí)用新型的有益效果是:提供的磷化銦生長材料烘烤爐控溫精準(zhǔn)，升降溫速度快，使生產(chǎn)時(shí)間大為降低。而且以一端封口石英管作為爐腔，使?fàn)t腔系統(tǒng)密封性得到保證，與真空抽取系統(tǒng)連接時(shí)能將烤出來的副產(chǎn)物和雜質(zhì)能及時(shí)的排出，使磷化銦生長材料的質(zhì)量得到保證。

附圖是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:外套1、加熱棒2、石英管3、絕緣陶瓷件4。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參見附圖，本實(shí)用新型包括:包括烘烤爐外套1、加熱棒2、絕緣陶瓷件4及石英管3。所述烘烤爐外套I由兩個(gè)一端封口的翻蓋中空夾套組成，夾套升溫時(shí)蓋緊，降溫時(shí)打開，可節(jié)省生產(chǎn)時(shí)間；夾套外壁由不銹鋼制作；夾套內(nèi)嵌有絕緣陶瓷件4及加熱棒2，加熱棒2為石墨電阻加熱棒，其通過絕緣陶瓷件4平行均勻排列固定在夾套內(nèi)壁；石墨電阻加熱棒分8組，每組中的石墨電阻由三根加熱棒相互串聯(lián)在一起，每組石墨電阻加熱棒單獨(dú)控制；石墨電阻加熱棒的粗細(xì)、長短可根據(jù)爐體最高加熱溫度和爐體大小確定；不銹鋼外表與絕緣陶瓷件4之間填充有隔熱材料，以起保溫作用。所述石英管3 —端封口，以便與真空抽取系統(tǒng)連接。
權(quán)利要求1.一種磷化銦生長材料烘烤爐，其特征在于:所述烘烤爐包括烘烤爐外套、絕緣陶瓷件、加熱棒及石英管。烘烤爐外套由兩個(gè)一端封口的翻蓋中空夾套組成，夾套外壁由不銹鋼制作，夾套內(nèi)嵌有絕緣陶瓷件及加熱棒，不銹鋼外壁與絕緣陶瓷件之間填充有隔熱材料，石英管一端封口，另一端開口。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種磷化銦生長材料烘烤爐。所述烘烤爐包括烘烤爐外套1、加熱棒2、絕緣陶瓷件4及石英管3?？緺t外套1由兩個(gè)一端封口的翻蓋中空夾套組成，夾套外壁由不銹鋼制作，夾套內(nèi)嵌有絕緣陶瓷件4及加熱棒2，石墨電阻加熱棒2分8組通過絕緣陶瓷件4平行均勻排列固定在夾套內(nèi)壁，每組中的石墨電阻由三根加熱棒相互串聯(lián)在一起，每組石墨電阻加熱棒單獨(dú)控制，不銹鋼外表與絕緣陶瓷件4之間填充有隔熱材料，以起保溫作用。石英管3一端封口，以便與真空抽取系統(tǒng)連接。本實(shí)用新型磷化銦生長材料烘烤爐控溫精準(zhǔn)，升降溫速度快，爐腔系統(tǒng)密封性好，使磷化銦生長材料的質(zhì)量得到保證。
文檔編號(hào)C30B33/02GK202968759SQ20122055940
公開日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月29日
發(fā)明者關(guān)活明 申請(qǐng)人:臺(tái)山市華興光電科技有限公司