專利名稱：石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅單晶制備裝置，具體而言，涉及ー種石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐。
背景技術(shù)：
單晶爐是在惰性氣體環(huán)境中，采用加熱器，將硅材料熔化，并采用直拉法生長(zhǎng)無(wú)位 錯(cuò)單晶的設(shè)備。如圖I所示，石墨堝是單晶爐熱場(chǎng)的重要組成部件之一，其堝體10’可以在高溫狀態(tài)下支撐石英堝，起到對(duì)石英堝的保護(hù)作用。但是，由于石英堝的高度一般與石墨堝齊平，所以出爐時(shí)，石英堝不容易從石墨堝中取出；此外，硅材料熔化時(shí)，硅液經(jīng)常會(huì)濺射到石墨堝的上沿。如果不及時(shí)清理沾在石墨堝上沿的硅液，在高溫狀態(tài)下，硅液會(huì)浸入到石墨堝內(nèi)部，對(duì)石墨堝造成污染，所以單晶爐毎次運(yùn)行結(jié)束后都需要將石墨堝取出，并對(duì)其上沿表面沾染的硅液進(jìn)行清洗。清洗硅液一般是選用砂輪機(jī)進(jìn)行打磨，但是經(jīng)常打磨會(huì)導(dǎo)致石墨堝上沿破損嚴(yán)重，還會(huì)導(dǎo)致石墨堝受到應(yīng)カ沖擊，無(wú)法對(duì)石英堝提供牢靠的保護(hù)，同時(shí)石墨堝上沿浸染有硅液的部位容易出現(xiàn)裂紋，影響了石墨堝的使用壽命，由于石墨堝為一體成型，當(dāng)上沿出現(xiàn)裂紋后，雖然堝體10’還完好無(wú)損，但仍然需要對(duì)石墨堝的整體進(jìn)行更換，増加了維修成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型g在提供ー種石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐，可以只更換損壞的石墨堝的上沿，而保留石墨堝的堝體，降低維修成本，同時(shí)可以方便石英堝的取出。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型的ー個(gè)方面，提供了ー種石墨堝，包括禍體；堝沿，沿堝體的上端面延伸，且與堝體可拆卸地連接。進(jìn)ー步地，堝體的上端面設(shè)置有第一定位臺(tái)階，堝沿的下端面設(shè)置有與第一定位臺(tái)階相配合的第二定位臺(tái)階。進(jìn)ー步地，堝沿有多個(gè)，多個(gè)堝沿沿堝體的周向方向在堝體的上端面串接。進(jìn)ー步地，相鄰的兩個(gè)堝沿的串接端之間具有間隙。進(jìn)ー步地，堝沿與堝體螺接固定。根據(jù)本實(shí)用新型的另一方面，提供了ー種單晶爐，包括石墨堝，石墨堝為前述的石
星禍O應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，通過(guò)使石墨堝的堝體與堝沿之間可拆卸地連接，當(dāng)堝沿?fù)p壞時(shí)，只需要將堝沿從石墨堝的堝體上拆除，并更換新的堝沿即可，無(wú)需更換整個(gè)石墨堝，降低了維修成本。同時(shí)，由于拆下堝沿后，堝體上端面低于位于堝體內(nèi)部的石英堝的上端面，所述石英堝可以很方便地取出。

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)ー步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中圖I示出了現(xiàn)有技術(shù)中的石墨堝的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示出了根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的石墨堝的主視圖；圖3示出了根據(jù)圖2的石墨堝的俯視圖；以及圖4示出了根據(jù)圖3的石墨堝的俯視圖的A處局部放大圖。
具體實(shí)施方式
下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。如圖2至4所示，根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例，提供了ー種石墨堝，包括堝體10和堝沿20。其中堝沿20位于堝體10的上端面，沿堝體10的上端面延伸，且與堝體10可拆卸地連接。當(dāng)硅料浸入堝沿20難以清除，或堝沿20因反復(fù)打磨而產(chǎn)生裂痕時(shí)，只需要更換堝沿20即可，不再需要更換整個(gè)石墨堝，節(jié)約了維修成本。同時(shí)，由于堝沿20可拆卸，所以出爐后，拆下堝沿20的堝體10的高度會(huì)低于石英堝的高度，可以方便石英堝的取出。為了使堝沿20在堝體10上放置更加穩(wěn)固，在堝體10的上端面設(shè)置有第一定位臺(tái)階，堝沿20的下端面設(shè)置有與第一定位臺(tái)階相配合的第二定位臺(tái)階，使堝沿20卡設(shè)在堝體10上。這種拼接結(jié)構(gòu)加工簡(jiǎn)單，且拼接方式簡(jiǎn)便易行。為了方便堝沿20從堝體10上取下，在堝沿20的上端面設(shè)置有便于夾持的斜面21，使堝沿20的上端面與外部的加熱器之間產(chǎn)生空間，方便堝沿20的拆卸。這里的斜面21也可以設(shè)置為弧形面、L形面或其他形狀，只要能在堝沿20與外部加熱器之間產(chǎn)生便于夾持的空間即可。為了方便堝沿20的加工，可以將堝沿20分為多個(gè)，本實(shí)施例中，堝沿20的數(shù)量為三個(gè)，實(shí)際操作中也可以根據(jù)需要設(shè)置不同數(shù)量的堝沿20。多個(gè)堝沿20在堝體10的上端面設(shè)置，沿堝體10的周向方向在堝體10上串接。為了防止熱脹冷縮效應(yīng)使相鄰兩個(gè)堝沿20之間產(chǎn)生擠壓，相鄰的兩個(gè)堝沿20的串接端之間保留有條縫狀的間隙，且串接端靠近堝沿20的內(nèi)壁的ー側(cè)為弧形結(jié)構(gòu)。為了防止堝沿20從堝體10上脫落，在堝沿20與堝體10之間采用螺釘連接固定。根據(jù)本實(shí)用新型的另ー個(gè)實(shí)施例，提供了ー種單晶爐，包括石墨堝，該石墨堝為前述任一種的石星禍。從以上的描述中，可以看出，本實(shí)用新型上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果通過(guò)使石墨堝的堝體與堝沿之間可拆卸地連接，當(dāng)堝沿?fù)p壞時(shí)，只需要將堝沿從石墨堝的堝體上拆除，并更換新的堝沿即可，無(wú)需更換整個(gè)石墨堝，降低了維修成本。同吋，由于拆下堝沿后，堝體上端面低于位于堝體內(nèi)部的石英堝的上端面，所述石英堝可以很方便地取出。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.ー種石墨堝，其特征在于，包括 堝體(10)； 堝沿(20)，沿所述堝體(10)的上端面延伸，且與所述堝體(10)可拆卸地連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石墨堝，其特征在于，所述堝體(10)的上端面設(shè)置有第一定位臺(tái)階，所述堝沿(20)的下端面設(shè)置有與所述第一定位臺(tái)階相配合的第二定位臺(tái)階。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石墨堝，其特征在于，所述堝沿(20)有多個(gè)，多個(gè)所述堝沿(20)沿所述堝體(10)的周向方向在所述堝體(10)的上端面串接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨堝，其特征在于，相鄰的兩個(gè)所述堝沿(20)的串接端之間具有間隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的石墨堝，其特征在于，所述堝沿(20)與所述堝體(10)螺接固定。
6.ー種單晶爐，包括石墨堝，其特征在于，所述石墨堝為權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的石星禍。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐。其中石墨堝包括堝體(10)；堝沿(20)，沿堝體(10)的上端面延伸，且與堝體(10)可拆卸地連接。采用本實(shí)用新型的石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐，可以只更換損壞的石墨堝的上沿，而保留石墨堝的堝體，降低維修成本，同時(shí)可以方便石英堝的取出。
文檔編號(hào)C30B15/10GK202626350SQ201220313160
公開日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月29日
發(fā)明者白劍銘, 孫二凱 申請(qǐng)人:英利能源(中國(guó))有限公司