一種ito導(dǎo)電膜匯流電極及其制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極及其制法，在ITO導(dǎo)電膜的表面鍍金屬層；在金屬層上涂布感光膠；用掩膜版平鋪在感光膠表面，用紫外光使感光膠固化成感光層；用顯影液去除未固化的感光膠；用蝕刻液使沒覆蓋感光層的金屬層和ITO導(dǎo)電膜被刻蝕留下電極形狀；將ITO導(dǎo)電膜放入去膠液中去除固化的感光層；將ITO導(dǎo)電膜浸泡在抗氧化溶液中形成保護層；將柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定，完成匯流電極制作。本發(fā)明適應(yīng)各種線寬線距，適應(yīng)性強，鍍金屬工藝使得匯流電極與ITO導(dǎo)電膜可靠接觸，可靠性高，還使加工工序減少，加工周期縮短，制造成本降低，金屬層使得ITO導(dǎo)電膜加工過程中ITO劃傷減少，大大提升了良品率。
【專利說明】一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極及其制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光電【技術(shù)領(lǐng)域】，具體來說，是一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極及其制作方法。 【背景技術(shù)】
[0002]觸控面板、柔性太陽能電池、OLED顯示及照明已越來越多地被應(yīng)用于各個光電工 業(yè)領(lǐng)域，其中的主要功能材料都是ITO導(dǎo)電膜，ITO導(dǎo)電膜具有優(yōu)良的透光效果及導(dǎo)電功 能，ITO導(dǎo)電膜可以在很薄的前提下實現(xiàn)好的導(dǎo)電效果，這樣既實現(xiàn)了透明功能，又具備各 項電性能，在人們對電子產(chǎn)品無止境地追求更輕、更薄、更好的視覺效果的刺激下，ITO導(dǎo)電 膜得到了前所未有的廣泛應(yīng)用。
[0003]熟知的匯流電極，均是用絲印銀漿的方法來制作；用絲印的方法來制作匯流電極， 電極寬度普遍在80?150微米，用常規(guī)的設(shè)備及銀漿很難做到80微米以下的寬度的條形 匯流電極。這樣匯流電極的面積達到一些設(shè)備面積的6%?8%，嚴重的限制了相關(guān)設(shè)備的功 能區(qū)域，且影響設(shè)備的外觀設(shè)計，也制約了相關(guān)設(shè)備的進一步發(fā)展。
[0004]現(xiàn)有絲印銀漿制作匯流電極的技術(shù)，不僅均勻性差，成本高，材料浪費嚴重，對環(huán) 境有一定污染，而且Ag的附著力差，制作精度不夠高，對于一些電極間距要求高，相對復(fù)雜 的圖案都不易實現(xiàn)。
[0005]目前絲印銀漿制作匯流電極的方法，在觸摸屏領(lǐng)域幾乎只用于電阻式觸摸屏，對 于電容式觸摸屏，邊框較寬，影響顯示設(shè)備的可視區(qū)域。這種方法效率低，精度低，制約了觸 摸屏與顯示屏的融合，限制顯示屏幕向大屏窄邊發(fā)展的趨勢。在柔性太陽能及OLED應(yīng)用 中，匯流電極的可靠性及便捷性直接影響了其產(chǎn)品的推廣及工程化，低成本、高可靠、便于 拆裝維護是產(chǎn)品得以廣泛應(yīng)用的前提。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是針對以上問題，提出一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極及其制作方法，使 匯流電極與ITO導(dǎo)電膜可靠接觸，可靠性高，制造成本降低，提升良品率。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的解決方案是:
一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極，由基材、ITO導(dǎo)電膜、金屬層、保護層和柔性電路板組成，ITO 導(dǎo)電膜及金屬層通過真空濺射鍍膜依次濺鍍在基材上，ITO導(dǎo)電膜和金屬層通過曝光、顯 影、蝕刻形成電極形狀，在電極形狀的表面通過抗氧化處理形成保護層，柔性電路板帶有標 準接口，柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起。
[0008]一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其步驟如下:
a、在位于基材上的ITO導(dǎo)電膜的表面通過真空濺射鍍膜的方法鍍上金屬層；
b、在金屬層上涂布感光月父；
C、曝光:用帶圖案的掩膜版平鋪在感光膠的表面，再用紫外光垂直照射掩膜版和感光 膠，感光膠固化形成感光層；
d、顯影:用顯影液噴淋以上加工的ITO導(dǎo)電膜，去除未固化的感光膠；e、蝕刻:用蝕刻液噴淋顯影過的ITO導(dǎo)電膜，沒覆蓋固化感光層的那部分金屬層和ITO 導(dǎo)電膜被刻蝕掉，留下所需圖形的電極形狀；
f、去膠:將完成以上工序的ITO導(dǎo)電膜放入去膠液中，浸泡一定時間，去除電極形狀表 面的固化的感光層；
g、抗氧化處理:將去膠后的ITO導(dǎo)電膜浸泡在抗氧化溶液中，浸泡一定時間,在電極形 狀的表面形成保護層；
h、綁定:將柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起，即完成了匯流電 極的制作。
[0009]所述步驟a的金屬層材料是鋁、鎳、鑰、金、銀或銅中的一種或多種的合金。
[0010]所述步驟a的基材是玻璃等無機透明材料，或是PET等有機透明材料。
[0011]所述步驟e的電極形狀是條形、S型、T型、閃電型等各種規(guī)則或不規(guī)則圖形。
[0012]一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極，由ITO導(dǎo)電膜、金屬層、保護層和柔性電路板組成，金屬 層通過真空濺射鍍膜形成在ITO導(dǎo)電膜的兩面上，ITO導(dǎo)電膜的兩面和金屬層分別通過曝 光、顯影、蝕刻形成電極形狀，在兩面電極形狀的表面通過抗氧化處理各形成保護層，柔性 電路板帶有標準接口，柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起。
[0013]一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其步驟如下:
a、在ITO導(dǎo)電膜的兩表面通過真空濺射鍍膜的方法鍍上金屬層；
b、在兩個金屬層上涂布感光膠；
C、曝光:用帶圖案的掩膜版平鋪在兩個感光膠的表面，再用紫外光垂直照射掩膜版和 感光膠，感光膠固化形成感光層；
d、顯影:用顯影液噴淋以上加工的ITO導(dǎo)電膜，去除未固化的感光膠；
e、蝕刻:用蝕刻液噴淋顯影過的ITO導(dǎo)電膜，沒覆蓋固化感光層的那部分金屬層和ITO 導(dǎo)電膜被刻蝕掉，留下所需圖形的電極形狀；
f、去膠:將完成以上工序的ITO導(dǎo)電膜放入去膠液中，浸泡一定時間，去除電極形狀表 面的固化的感光層；
g、抗氧化處理:將去膠后的ITO導(dǎo)電膜浸泡在抗氧化溶液中,浸泡一定時間,在兩面電 極形狀的表面各形成保護層；
h、綁定:將柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起，即完成了匯流電 極的制作。
[0014]所述步驟a的金屬層材料是鋁、鎳、鑰、金、銀或銅中的一種或多種的合金。
[0015]所述步驟e的電極形狀是條形、S型、T型、閃電型等各種規(guī)則或不規(guī)則圖形。
[0016]采用上述方案后，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，適應(yīng)各種線寬線距，適應(yīng)性強，鍍金屬 工藝使得匯流電極與ITO導(dǎo)電膜可靠接觸，可靠性高，鍍金屬工藝加工工序減少，加工周期 縮短，制造成本降低，金屬層使得ITO導(dǎo)電膜加工過程中ITO劃傷減少，大大提升了良品率。
[0017]以下結(jié)合附圖及具體實施例對本發(fā)明做進一步詳細描述。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極示意圖；
圖2是ITO導(dǎo)電膜示意圖；圖3是ITO膜濺射金屬層后的示意圖；
圖4是涂布后的不意圖；
圖5是曝光后的不意圖；
圖6是顯影后不意圖；
圖7是蝕刻后不意圖；
圖8是去I父后不意圖；
圖9是制作金屬層抗氧化處理的示意圖。
【具體實施方式】
[0019]實施例1
本發(fā)明揭示的一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極，如圖1所示，由基材2、ITO導(dǎo)電膜1、金屬層
3、保護層5和柔性電路板6組成。ITO導(dǎo)電膜I位于基材2上，金屬層3通過真空濺射鍍膜 形成在ITO導(dǎo)電膜I上，ITO導(dǎo)電膜I和金屬層2通過曝光、顯影、蝕刻形成電極形狀，在電 極形狀的表面通過抗氧化處理形成保護層5，柔性電路板6帶有標準接口，柔性電路板6與 制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜I綁定在一起。
[0020]實施例1的制作方法，具體步驟如下。
[0021]首先，如圖2所示，ITO導(dǎo)電膜I位于基材2上，基材2是玻璃等無機透明材料，或 是PET等有機透明材料。在ITO導(dǎo)電膜I的表面通過真空濺射鍍膜方法鍍上金屬層3，如圖 3所示。金屬層3材料可以選擇鋁、鎳、鑰、金、銀或銅中的一種或多種的合金。
[0022]接著，在金屬層3表面涂布感光膠4，如圖4所示，并在烘箱中固化。
[0023]跟著，用設(shè)計好的帶圖案的掩膜版平鋪在感光膠4的表面，再用紫外光垂直照射 掩膜版和感光膠，形成固化的感光膠和未固化的感光膠，如圖5所示，感光膠固化形成感光 層41。
[0024]之后，用顯影液噴淋曝光后的ITO導(dǎo)電膜1，去除未固化的感光膠4，如圖6所示。
[0025]然后，用蝕刻液噴淋顯影過的ITO導(dǎo)電膜I，未覆蓋固化感光層41的那部分金屬層 2和ITO導(dǎo)電膜I被刻蝕掉，留下所需圖形的電極形狀，如圖7所示。電極形狀由設(shè)計好的 掩膜版圖案而定，可以是條形、S型、T型、閃電型等各種規(guī)則或不規(guī)則圖形。
[0026]隨后，將完成以上工序的ITO導(dǎo)電膜I放入去膠液中，浸泡一定時間，去除電極形 狀表面固化的感光層41，如圖8所示。
[0027]再將制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜I放入抗氧化液，進行抗氧化處理，在電極形狀 的表面形成保護層5，如圖9所示。
[0028]最后，將帶有標準接口的柔性電路板6與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜I綁定在 一起，如圖1所示，即完成了一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極的制作。其中，柔性電路板的另一端 用于連接標準接口。
[0029]實施例2
本實施例與實施例1的不同在于，實施例1是制作單面ITO導(dǎo)電膜匯流電極外，本實施 例2是制作雙面ITO導(dǎo)電膜匯流電極。
[0030]其制作步驟為:在雙面ITO導(dǎo)電膜的兩面通過真空濺射鍍膜的方法鍍上金屬層， 之后通過涂布的方法在兩個金屬層的上表面涂布感光膠；接著用設(shè)計好的圖形掩膜對感光膠進行曝光，然后再進行顯影、蝕刻和去膠工藝，跟著如實施例1 一樣制作電極形狀的方 法，在ITO導(dǎo)電膜的上、下兩個表面制作相同或不同的電極形狀，最后對電極形狀進行抗氧 化處理及綁定，即完成雙面ITO導(dǎo)電膜匯流電極的制作。
[0031]所有文中未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實現(xiàn)。以上所述便 是本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但本發(fā)明也不局限于以上僅有的實施例，在實施例上稍做改進也 將視為本專利的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極，其特征在于:由基材、ITO導(dǎo)電膜、金屬層、保護層和柔性電路板組成，ITO導(dǎo)電膜及金屬層通過真空濺射鍍膜依次濺鍍在基材上，ITO導(dǎo)電膜和金屬層通過曝光、顯影、蝕刻形成電極形狀，在電極形狀的表面通過抗氧化處理形成保護層，柔性電路板帶有標準接口，柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起。
2.—種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其特征在于步驟如下:a、在位于基材上的ITO導(dǎo)電膜的表面通過真空濺射鍍膜的方法鍍上金屬層；b、在金屬層上涂布感光月父；C、曝光:用帶圖案的掩膜版平鋪在感光膠的表面，再用紫外光垂直照射掩膜版和感光膠，感光膠固化形成感光層；d、顯影:用顯影液噴淋以上加工的ITO導(dǎo)電膜，去除未固化的感光膠；e、蝕刻:用蝕刻液噴淋顯影過的ITO導(dǎo)電膜，沒覆蓋固化感光層的那部分金屬層和ITO 導(dǎo)電膜被刻蝕掉，留下所需圖形的電極形狀；f、去膠:將完成以上工序的ITO導(dǎo)電膜放入去膠液中，浸泡，去除電極形狀表面的固化的感光層；g、抗氧化處理:將去膠后的 ITO導(dǎo)電膜浸泡在抗氧化溶液中，浸泡，在電極形狀的表面形成保護層；h、綁定:將柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起，即完成了匯流電極的制作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其特征在于:步驟a的金屬層材料是鋁、鎳、鑰、金、銀或銅中的一種或多種的合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其特征在于:步驟a的基材是無機透明材料，或是有機透明材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其特征在于:步驟e的電極形狀是條形、S型或T型。
6.一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極，其特征在于:由ITO導(dǎo)電膜、金屬層、保護層和柔性電路板組成，金屬層通過真空濺射鍍膜形成在ITO導(dǎo)電膜的兩面上，ITO導(dǎo)電膜的兩面和金屬層分別通過曝光、顯影、蝕刻形成電極形狀，在兩面電極形狀的表面通過抗氧化處理各形成保護層，柔性電路板帶有標準接口，柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起。
7.—種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其特征在于步驟如下:a、在ITO導(dǎo)電膜的兩表面通過真空濺射鍍膜的方法鍍上金屬層；b、在兩個金屬層上涂布感光膠；C、曝光:用帶圖案的掩膜版平鋪在兩個感光膠的表面，再用紫外光垂直照射掩膜版和感光膠，感光膠固化形成感光層；d、顯影:用顯影液噴淋以上加工的ITO導(dǎo)電膜，去除未固化的感光膠；e、蝕刻:用蝕刻液噴淋顯影過的ITO導(dǎo)電膜，沒覆蓋固化感光層的那部分金屬層和ITO 導(dǎo)電膜被刻蝕掉，留下所需圖形的電極形狀；f、去膠:將完成以上工序的ITO導(dǎo)電膜放入去膠液中，浸泡，去除電極形狀表面的固化的感光層；g、抗氧化處理:將去膠后的ITO導(dǎo)電膜浸泡在抗氧化溶液中，浸泡，在兩面電極形狀的表面各形成保護層；h、綁定:將柔性電路板與制作好電極形狀的ITO導(dǎo)電膜綁定在一起，即完成了匯流電極的制作。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其特征在于:步驟a的金屬層材料是鋁、鎳、鑰、金、銀或銅中的一種或多種的合金。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種ITO導(dǎo)電膜匯流電極制作方法，其特征在于:步驟e的電極形狀是條形、S型或T型。
【文檔編號】H05K1/02GK103582285SQ201210270958
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月31日
【發(fā)明者】石勇 申請人:廈門中天啟航電子科技有限公司