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一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)外吸塵器管道的插口的制作方法

文檔序號:8134677閱讀:765來源:國知局
專利名稱:一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)外吸塵器管道的插口的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)吸塵器管道的插口。該插口可 以解決常規(guī)吸塵器管道在吸塵器接口處長期插拔對接口造成的損壞,可以在不停機吸塵器 的情況下輕易的拔出外部吸塵器軟管,避免吸塵器的反復起停。
背景技術(shù)
直拉法生長硅單晶過程中,高溫下硅同爐室內(nèi)的氧會發(fā)生反應(yīng),生成大量硅的氧 化物,絕大多數(shù)氧化物會隨同爐室內(nèi)流通的冷卻氣體排出去,但仍然有一部分沉積在爐壁、 熱場石墨件、加熱器等表面,如不及時清理,沉積的碎屑在晶體生長過程中落入硅熔體里并 飄到晶體表面會造成單晶壞。在每一爐停爐后,需要使用吸塵器吸出沉積在爐壁和熱場表面的氧化物雜質(zhì)。為 了滿足吸除效果,使用了較大吸力的吸塵器,在每臺單晶爐附近安裝吸塵器接口,通過管道 將吸塵器和接口連接,使用時,需要將吸塵器軟管的外部插口插到管道接口內(nèi),外部插口和 管道接口通常為由塑料基座固定的不銹鋼管,外部插口直徑略小于管道接口。清理結(jié)束后,通常在吸塵器運轉(zhuǎn)過程中需要將外部插口拔出,由于吸塵器吸力較 大,分離兩者需要大力的晃動和拉拔動作,很快造成管道接口的固定裝置損壞,接口處漏 氣,外部吸塵器軟管的吸力下將,影響工作效率并造成較大噪音。如果采用停機吸塵器的方 式拔出插口,則反復起停對大型吸塵器壽命也有不良影響。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)外吸塵器管道的插 口,該插口可使插拔過程對管道接口損壞大大降低。為實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案這種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)外部吸塵器管道的插口,該插口一端設(shè)有接車 間內(nèi)吸塵器管道的接口,另一端設(shè)接外部吸塵器軟管的接口,本插口的側(cè)面設(shè)有窗口,窗口 上方設(shè)有軸,有一主板與軸絞接。吸塵系統(tǒng)的連接方式采用內(nèi)部吸塵器-吸塵器管道-管道接口 _本插口 -外部 吸塵器軟管。本插口主體為鋼管,鋼管側(cè)面有一個可以打開的窗口。吸塵器工作狀態(tài)下需要拔下外部吸塵器軟管插口時,首先打開窗口,使進氣主要 通過窗口,此時吸塵器軟管內(nèi)真空度降低,軟管插口同吸塵器接口之間吸附力大大減小,此 時拔下插口較容易,不會對接口造成損壞。本實用新型的優(yōu)點是通過打開本插口上窗口的方式,使吸塵器氣路不再經(jīng)過吸 塵器軟管,使插口和接口連接處后端真空度大幅下降,兩者連接緊密度下降,可以輕易的在 吸塵器工作過程中仍具有較大吸力的情況下拔出吸塵器軟管,即不損壞管道接口,也不必 關(guān)閉吸塵器,造成吸塵器電機反復起停造成的損害。
圖1 使用本發(fā)明插口的吸塵系統(tǒng)示意圖圖2a 已有的外部吸塵器軟管與吸塵器管道接口連接示意圖圖2b 本發(fā)明插口與吸塵器管道接口連接示意圖圖3a 本發(fā)明插口和主視圖圖3b:圖3a的側(cè)視圖圖4a:打開窗口蓋板側(cè)視圖圖4b 打開窗口蓋板后的插口主剖視圖圖4c 圖4b的右剖視圖(不包括窗口蓋)圖1中,10、為本實用新型的插口,11管道,12為內(nèi)部吸塵器,13外部吸塵軟管,14、
吸塵器管道接口。圖2a、圖2b、圖3a、圖3b、圖4a、圖4b、圖4c中1、窗口 ;2、窗口旋轉(zhuǎn)軸;3、窗口蓋 板;5、窗口進氣流;6、管道進氣流;7、密封圈。
具體實施方式
吸塵系統(tǒng)的連接方式采用內(nèi)部吸塵器12-吸塵器管道11-管道接口 14-插口-外 部吸塵器軟管13。插口一端設(shè)有接車間內(nèi)吸塵器管道的接口 14,另一端設(shè)接外部吸塵器軟管的接 口,本插口的側(cè)面設(shè)有窗口 1,窗口上方設(shè)有軸2,有一主板3與軸絞接。窗口蓋板圍繞窗口旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)窗口周圍裝有密封圈。窗口長、寬與管道大于插口管道直徑的1. 1倍。吸塵器工作狀態(tài)下需要從管道接口處拔出吸塵器軟管插口時,首先打開窗口蓋, 使吸塵器軟管直接與外部氣體聯(lián)通,氣流通過窗口進入吸塵器軟管,從吸塵器軟管插口進 入吸塵器軟管的氣流量大大減小,插口和管道接口之間吸附力減弱,將插口從管道接口中 拔出。
權(quán)利要求一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)、外部吸塵器管道的插口,其特征在于插口一端設(shè)有接車間內(nèi)吸塵器管道的接口,另一端設(shè)接外部吸塵器軟管的接口,本插口的側(cè)面設(shè)有窗口,窗口上方設(shè)有軸,有一蓋板與軸絞接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)、外部吸塵器管道的插 口,其特征在于窗口周圍裝有密封圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)、外部吸塵器管道插口, 其特征在于窗口長、寬大于插口管道直徑的1.1倍。
專利摘要一種用于直拉法生長硅單晶車間內(nèi)、外部吸塵器管道的插口,該插口的一端設(shè)有接車間內(nèi)吸塵器管道的接口,另一端設(shè)接外部吸塵器軟管的接口,本插口的側(cè)面設(shè)有窗口,窗口上方設(shè)有軸,有一主板與軸鉸接。本實用新型的優(yōu)點是通過打開本插口上窗口的方式,使吸塵器氣路不再經(jīng)過吸塵器軟管,使插口和接口連接處后端真空度大幅下降,兩者連接緊密度下降,可以輕易的在吸塵器工作過程中仍具有較大吸力的情況下拔出吸塵器軟管,既不損壞管道接口,也不必關(guān)閉吸塵器,避免造成吸塵器電機反復起停造成的損害。
文檔編號C30B29/06GK201624607SQ20092027747
公開日2010年11月10日 申請日期2009年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月27日
發(fā)明者高宇 申請人:北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司
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