專利名稱：有機el顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機場致發(fā)光(此后在說明中簡稱為EL)顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
被用于有機EL顯示器的有機EL面板包括夾在電極之間的有機膜，有機膜包括有機化合物。該有機化合物通過在兩電極之間流過電流而發(fā)光。將這種有機EL顯示器配置成全色顯示器的一種方法是使用濾色系統(tǒng)的技術(shù)。這種類型的有機EL顯示裝置已公開于例如JP-A-9-212106中。
在使用濾色系統(tǒng)以將有機EL顯示器配置成全色顯示器的技術(shù)中，發(fā)白光的有機EL部件與三原色的濾色層結(jié)合以實現(xiàn)全色有機EL顯示器。圖9是常規(guī)的有機EL顯示裝置2的一部分的示意圖。如圖9所示，常規(guī)的有機EL顯示裝置2包括玻璃基板201；設(shè)置在玻璃基板201上的RGB(紅、綠和藍)濾色器202；以及位于濾色器上的涂覆層203，涂覆層由透明樹脂構(gòu)成，例如丙烯酸樹脂。
另外，涂覆層上具有一無機固體層204，以防止有機EL部件性能因為濾色器202和涂覆層203中的少量水分、溶劑或有機化合物而劣化。無機固體層上設(shè)置并布圖有透明導體層(陽極)205，無機固體層和透明導體層上覆蓋有其中具有開口的絕緣膜206。絕緣膜具有沉積于其上的有機膜207以發(fā)出白光，并在有機膜上設(shè)有陰極208。當電流在透明導體層(陽極)205和陰極208之間流動時，有機膜207發(fā)出白光。從有機膜207發(fā)出的白光穿過透明導體層(陽極)205以及與透明導體層205(陽極)對應(yīng)的濾色器202。白光進入所希望RGB濾色器202中的一個以發(fā)出所希望的R、G或B色，將有機EL顯示裝置配置成全色顯示器。有機膜207下的各層，即透明導體層(陽極)205、無機固體層204、涂覆層203和玻璃基板201，都由透明材料制成。有機EL顯示裝置還包括連接于陰極208的補充線，這在圖9中未示出。
無機固體層204保護有機EL部件不受到上述水分和/或有機化合物的影響。無機固體層在合格率的影響方面扮演非常重要的角色。當無機固體層204被不完全地設(shè)置時，顯示特性會改變。例如，已知的問題是由于有機EL部件隨著部件制成后的時間流逝而劣化，因此如圖10所示形成非發(fā)光部分R。無機固體層204在有機EL顯示裝置中扮演非常重要的角色以保護有機層不受水分和/或有機化合物的影響。在圖10中，如圖9所示的透明導體層(陽極)205用虛線表示，另外還布置有用于陰極成形的分隔器111以垂直于陰極而延伸。

發(fā)明內(nèi)容
如上所述的常規(guī)有機EL顯示裝置引起下列問題。在制造上述有機EL顯示裝置的過程中，為除去粘附于基板上作為瑕疵物質(zhì)的外來物質(zhì)，在布圖后一般會清洗陽極的透明導體層(陽極)205和用作補充線的未圖示的金屬膜。清洗是由例如濃密刷、加壓的超純化水而實現(xiàn)的。在某些情況下，暴露于清洗表面的無機固體層204的一部分在清洗過程中受到損傷。當無機固體層204被刮傷時，無機固體層無法完全地發(fā)揮非常重要的功效，該功效防止有機EL部件因為上述水分和/或有機化合物而劣化。當無機固體層形成小的厚度時，這個問題尤其明顯。該問題也會在有機EL顯示器采用CCM(色變材料)系統(tǒng)時產(chǎn)生。
本發(fā)明的一個目的是解決上述問題并提供一種有機EL顯示裝置及其制造方法，它能防止無機固體層在制造有機EL顯示裝置制造過程中的清洗步驟中受到損壞，提高有機EL顯示器的合格率并使它的強度足以抑制因時間流逝而帶來的視覺缺陷的影響。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，這里提供一種有機EL顯示裝置，包括基板；設(shè)置在基板上的顯色有機材料層；涂覆在顯色有機材料層上的涂覆層；設(shè)置在涂覆層上的無機固體層；多個第一電極；有機發(fā)光層和設(shè)置在無機固體層上的多個第二電極；發(fā)光部分，該發(fā)光部分具有有機發(fā)光層區(qū)域，其中第一電極和第二電極彼此搭疊，并與第一電極和第二電極形成接觸；絕緣膜，被設(shè)置成覆蓋第一電極靠近毗鄰第一電極的端部和毗鄰的第一電極之間的間隙部分；以及保護層，被設(shè)置成盡可能多地覆蓋基板上除第一電極外的無機固體表面，當保護層包含導體材料時，保護層被布圖成不與第一電極形成短路。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，保護層被設(shè)置在根據(jù)第一方面的有機EL顯示裝置中有源區(qū)域的外側(cè)。通過這種配置，由于有源區(qū)域外側(cè)的無機固體層的暴露部分受到保護層的保護，因此無機固體層在清洗步驟中受到保護而不受到損害。因此可防止一種情況的發(fā)生，即在無機固體層的暴露部分上產(chǎn)生的外來物質(zhì)使視覺缺陷(即水分、溶劑等)通過損傷部分而擴散到有源區(qū)域，從而造成視覺缺陷。
根據(jù)本發(fā)明第三方面，保護層是導體并被設(shè)置成與根據(jù)第二或第三方面的有機EL顯示裝置中的第一電極絕緣。通過這種配置，第一電極和保護層可由相同材料制成并位于同一層上。
根據(jù)本發(fā)明第四方面，保護層被設(shè)置成覆蓋整個區(qū)域，在該區(qū)域中涂覆層被設(shè)置在根據(jù)第一方面的有機EL顯示裝置中。通過這種配置可恰到好處地保護可能因為清洗步驟而受到損害的部分。z根據(jù)本發(fā)明的第五方面，保護層和第一電極由同一步驟進行加工并形成于根據(jù)第一、第二、第三或第四方面的有機EL顯示裝置中。通過這種配置可減少制造過程中的步驟數(shù)。
根據(jù)本發(fā)明的第六方面，有機發(fā)光層發(fā)出白光，而根據(jù)第一至第五任何一個方面的有機EL顯示裝置中的顯色有機材料層包括R、G或B濾色器。
根據(jù)本發(fā)明的第七方面，有機發(fā)光層和顯色有機材料層具有設(shè)置在其間的至少一種色轉(zhuǎn)換層，而根據(jù)第一至第五任何一個方面，所述色轉(zhuǎn)換層能將原始發(fā)光轉(zhuǎn)換成不同色光。
根據(jù)本發(fā)明的第八方面，這里提供一種用于制造有機EL顯示裝置的方法，包括一將顯色有機材料層設(shè)置在基板上；設(shè)置涂覆層以覆蓋顯色有機材料層；將無機固體層設(shè)置在涂覆層上；將多個第一電極設(shè)置在無機固體層上；將保護層設(shè)置在無機固體層上以及第一電極外側(cè)；從上述第一電極和涂覆層上開始清洗基板；將絕緣膜設(shè)置在第一電極上，該絕緣膜具有開口；設(shè)置有機發(fā)光層；并將多個第二電極設(shè)置在位于第一電極上的有機發(fā)光層上。通過這種配置可一種提供有機EL顯示裝置，它通過保護層來保護無機固體層以使其不易引起因時間流逝帶來的視覺缺陷并防止有機固體層受到清洗步驟中的清洗所帶來的損傷。
根據(jù)本發(fā)明的第九方面，根據(jù)第八方面的方法還包括在同一步驟中設(shè)置第一電極和保護層。通過這種配置可提供在產(chǎn)量和成本上有優(yōu)勢的有機EL顯示裝置。
根據(jù)本發(fā)明第十方面，根據(jù)第八方面的方法還包括設(shè)置分隔器以使諸第二電極彼此分隔開。通過這種配置可恰到好處地設(shè)置第二電極。
根據(jù)本發(fā)明，可提供有機EL顯示裝置及其制造方法，能提高有機EL顯示器的合格率并不易受到隨時間流逝的視覺缺陷的影響。


通過結(jié)合附圖對下面的詳細說明的閱讀，能實現(xiàn)對本發(fā)明的更完全理解并能由此推導出所伴隨的諸多優(yōu)點。
圖1A和圖1B是表示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的有機EL面板的截面圖；圖2A-圖2C是示意地示出用于制造根據(jù)該實施例的有機EL顯示裝置的俯視圖；圖3D-圖3F是示意地示出用于制造根據(jù)該實施例的有機EL顯示裝置的俯視圖；圖4A和圖4B是分別示出常規(guī)有機EL面板的一部分和根據(jù)該實施例的有機EL面板一部分的截面圖；圖5G-圖5I是示意地示出根據(jù)本實施例的有機EL顯示裝置的制造過程的俯視圖；圖6J-圖6L是示意地示出根據(jù)本實施例的有機EL顯示裝置的制造過程的俯視圖；圖7是示出根據(jù)本實施例的有機EL顯示裝置的制造過程的流程圖；圖8是示出根據(jù)本實施例的有機EL顯示裝置的截面圖；
圖9是示出常規(guī)有機EL顯示裝置的橫截面圖；圖10是示出常規(guī)有機EL顯示裝置的屏幕的示意圖。
具體實施例方式
下面將對可適用本發(fā)明的諸實施例進行說明。下面的解釋僅旨在說明本發(fā)明諸實施例，而本發(fā)明不限于下面所述的諸實施例。圖1A是示出根據(jù)本發(fā)明一個實施例的有機EL面板10的一部分的截面圖。如圖所示，RGB(紅、綠和藍)濾色器102被設(shè)置在玻璃基板101上，涂覆層103被設(shè)置在濾色器和玻璃基板上。無機固體層104被設(shè)置在涂覆層上以防止有機EL部件的性能因為濾色器102和涂覆層103內(nèi)包含的少量水分、溶劑等化合物而劣化。無機固體層104還具有提高將形成于其上的透明導體層105的粘合效果。保護圖案109和透明導體層105被設(shè)置在無機固體層104上。另外，其中具有開口的絕緣膜106被沉積在所期望的區(qū)域以保護透明導體層105的圖案邊緣并使諸像素彼此分開。另外還設(shè)有倒錐形的分隔器(未圖示)以在設(shè)置陰極期間將諸陰極分開。有機膜107從分隔器之上開始沉積，而陰極108被設(shè)置在有機膜上并由分隔器分隔，有機EL面板被配置成這樣的多層結(jié)構(gòu)。
有機EL顯示裝置一般被配置成無源矩陣顯示器，它分別使用透明導體層105和陰極108作為信號電極和掃描電極。這是因為就面板的成形而言，制造這種無源矩陣顯示器是方便的。反過來說，透明導體層105和陰極108分別被設(shè)置為掃描電極和信號電極。當電流經(jīng)由有機膜107流入到形成于絕緣膜106中的開口中時，這個區(qū)域內(nèi)的有機膜107開始發(fā)光。換句話說，開口中的有機膜107作為發(fā)光部分。多個發(fā)光部分被形成以矩陣形狀的區(qū)域整體上作為一有源區(qū)域。
玻璃基板101是有機EL面板10的支承體。盡管在該實施例中玻璃基板是透明的，但本發(fā)明不局限于這種基板?？墒褂闷渖贤扛灿锌钩蓖繉拥乃芰匣?。當使用玻璃基板時，在許多情況下可以使用具有堿性阻擋層的堿石灰(soda lime)玻璃基板或非堿性玻璃基板。當使用塑料基板時，聚碳酸酯基板、聚甲基丙烯酸酯基板、聚苯乙烯基板等均可使用。
濾色器102由有色樹脂制成并被形成多個彼此隔開的矩形或其他圖案。設(shè)置各矩形圖案以使其對應(yīng)于作為像素的各區(qū)域。濾色器102包括如上所述的RGB三色的濾色器。濾色器被設(shè)置在與各像素對應(yīng)的位置上。為此，當濾色器102被完成布圖后，由于濾色器具有不同厚度而引起厚度變化。設(shè)置涂覆層103以緩解濾色器的厚度變化。盡管濾色器102在該實施例中被設(shè)置成彼此分開，然而濾色器也可以被設(shè)置成具有一種圖案，其中諸濾色器彼此平齊而在毗鄰的濾色器之間沒有間隙。如上所述，由于濾色器的存在所產(chǎn)生的厚度變化通過設(shè)置涂覆層103而被消除。也可在濾色器形成之后拋光而消除厚度變化。
盡管涂覆層103由諸如丙烯酸樹脂這樣的材料制成，但對涂覆層沒有材料上的限制。要注意的是涂覆層103要求是透明的，這樣發(fā)光部分可從外部觀察到?？捎贸Ｒ?guī)方法作為設(shè)置涂覆層的方法。
濾色器102和涂覆層103可能殘留有水分和/或諸如有機溶劑這樣的有機材料，這是由于這些部件是由上述的有機材料(有機材料層)制成的。當通過噴濺而設(shè)置這些有機材料層時而由這些有機材料層產(chǎn)生的水分和/或有機材料在許多情況下會對妨礙透明導體層105被沉積成優(yōu)質(zhì)薄膜。已知的是水分和/或有機材料擴散到設(shè)置在透明導體層105上的有機膜107中，另外有機膜中的擴散會使光發(fā)射特性劣化。
從提高有機材料層和透明導體層105之間的粘結(jié)的角度看，用氧化硅制成無機固體層104是較為有利的。盡管從防止水分或有機材料擴散的角度看，用氮化硅形成無機固體層是較為有利的，但是無機固體層也可由具有優(yōu)化的SiOX/SiNX比的氧化硅和氮化硅的混合物制成，從而使其在許多情況下具有透明度和氣阻擋特性。無機固定層104具有形成于其中的可滲透區(qū)域，由此水分和/或有機材料在干燥基板的工序中從可滲透路徑蒸發(fā)出。然而在制造后，在面板的正常條件下，水分、有機材料和/或化合物無法通過可滲透區(qū)域。無機固體層厚度較為有利地為1-20nm或更低，而無機固體層被設(shè)置成非常薄的薄膜。
透明導體層105通過沉積例如ITO(銦錫氧化物)薄膜層而被設(shè)置，從而具有大約150nm的厚度并在本實施例中通過濕蝕進行布圖。為此，要求在布圖后執(zhí)行清洗步驟。在對透明導體層105布圖后，無機固體層104的某些部分被暴露。在某些情況下，當通過例如在供給加壓超純化水的同時使用濃密刷而執(zhí)行清洗步驟時，無機固體層104會受到損傷。一旦被損壞，無機固體層不僅難以實現(xiàn)上述功能，還會造成視覺缺陷。
在作為有機EL面板10一部分的放大圖的圖1B中，僅濾色器102、涂覆層103、無機固體層104、透明導體層105和保護圖案109被示出作為如圖1A所示的有機EL面板的部件。如圖1B所示，濾色器102上涂覆有涂覆層103，而透明導體層105被設(shè)置并布圖在與各濾色器102對應(yīng)的位置上。在本發(fā)明中，保護圖案109獨立于透明導體層105而設(shè)置在無機固體層104上，以覆蓋沒有濾色器102的區(qū)域。另外，保護圖案109覆蓋涂覆層103的整個區(qū)域，特別是涂覆層103的布圖邊緣區(qū)域。保護圖案109可通過與例如ITO的透明導體層105相同的ITO而設(shè)置。通過設(shè)置保護圖案109，可保護無機固體底層104不受到清洗工序中刷的損傷(例如毛刷造成的損傷)。透明導體層105被布圖在用作電極的位置上，同時保護圖案109被布圖在不用作電極的位置上。
從這一角度看，將透明導體層105和保護圖案109間隙設(shè)置以防止無機固體層104在清洗工序中受到損傷是較為有利的。換句話說，被設(shè)置成防止?jié)饷芩⒚M入的間隙。以這種優(yōu)化的間隔對透明導體層和保護圖案進行布圖，通過該間隙，來自濾色器102和涂覆層103中的水分和/或有機化合物可在干燥工序中被蒸發(fā)。然而，當間隙過寬時，無機固體層104具有較寬的暴露部分并會在清洗工序中被損傷。另一方面，當間隔過窄時，則難以在干燥工序過程中充分地蒸發(fā)水分和/或有機化合物。在保護圖案109如上所述地由ITO形成的情況下，當間隙過窄時，透明導體層105及其同樣可導的毗鄰保護圖案109在某些情況下會形成短路。
透明導體層105是有機EL顯示裝置的陽極電極。保護圖案109是用于保護上述無機固體層104的圖案。盡管保護圖案109與透明導體層105在作用上不同，但可在同一工序中對保護材料和透明材料進行布圖和設(shè)置。在這種情況下，由于保護圖案也是導體材料，例如ITO，因此需要設(shè)置與透明導體層105絕緣的保護圖案109。當透明導體層105和保護圖案109通過相同工序被布圖，不單獨要求對保護圖案109的膜沉積和布圖。結(jié)果提高了產(chǎn)量。
當透明導體層105和保護圖案109由不同工序而布圖時，在對透明導體層或保護圖案進行布圖后，可只對基板進行一次清洗。為此，在某些情況下，無機固體層104的暴露部分被損壞地更厲害。同樣從這個角度看，使透明導體層105和保護圖案109由同一材料形成并在同一工序中進行布圖是較為有利的。
盡管其中形成有開口的絕緣層106一般由聚合材料(諸如聚合樹脂)形成，但這里對絕緣層材料沒有特別的限制。絕緣層可由具有足夠絕緣特性的已知材料形成。絕緣層106的設(shè)置旨在保護透明導體層105的布圖邊緣并將諸像素彼此分開。有機膜107被設(shè)置于有源區(qū)域及其圍繞的小區(qū)域上，另外設(shè)置各個開口以便與形成像素的透明導體層105和陰極108的各搭疊部分相對應(yīng)。
作為有機膜107的材料，使用高熒光發(fā)射量的化合物是有效的方法，具有來自陰極108的高電子注入率和具有高電子遷移率。也可使用已知的有機熒光材料，諸如8-羥苯環(huán)(8-oxinoline)、四苯基丁二烯、苯乙烯基色素或氧二氮茂色素。
有機膜107具有通常為10-200nm的膜厚，較為有利地為20-80nm。在一般情況下，發(fā)光層伴隨有空穴轉(zhuǎn)移層、界面層、電子注入層、電子轉(zhuǎn)移層等。當這些層存在時，應(yīng)當注意根據(jù)本發(fā)明的有機膜107也包含這些層。每個陰極均由例如薄金屬膜形成。
圖2A至圖3F以及圖5G至圖6L是表示制造根據(jù)本實施例的含有機EL面板10的有機EL顯示裝置的工序的俯視圖。圖7是制造工序的流程圖。盡管為簡單起見，圖2A至圖3F以及圖5G至圖6L中僅示出有機EL面板的兩行和兩列像素，然而實際的產(chǎn)品不限于這種模式。下面將結(jié)合圖2A至圖6L以及圖7對根據(jù)本實施例的用于制造有機EL顯示裝置的過程進行說明。
如圖2A所示，首先將濾色器102設(shè)置在玻璃基板101上(圖7中的S101)。濾色器102具有例如1.2μm的薄膜厚度并由濕旋轉(zhuǎn)涂覆方法形成并用平版印刷法設(shè)置。如圖2B所示，涂覆層103被沉積到玻璃基板101上并通過平版印刷法布圖以覆蓋濾色器102的整個區(qū)域(圖7中的S102)。沉積涂覆層103以覆蓋濾色器102并使基板表面保持平整。涂覆層103具有例如1.5μm的厚度并由丙烯酸樹脂形成。
如圖2C所示，無機固體層104隨后沉積在基板的頂部(圖7的S103)。無機固體層104包括SiO2。從透明度和氣阻擋特性的角度看，無機固體層包括具有優(yōu)化的SiOx/SiNx比例的氧化硅和氮化硅的混合物是較為有利的。無機固體層104通過例如噴濺而形成。可適當?shù)乜刂茻o機固體層104以使其具有1nm-20nm范圍內(nèi)的厚度，盡管厚度可根據(jù)制造條件而變化。該厚度可以被設(shè)置成5nm。在該實施例中，可通過在下列條件下進行RF噴濺而使無機固體層作為薄膜而沉積基板溫度220℃、對象包括SiO2，將氬氣作為噴濺氣體，氣體壓力為0.7Pa。
ITO膜被沉積在整個無機固體層104上，保護圖案109和透明導體層105如圖3D所示被布圖(圖7的S104)。對如圖3D所示透明導體層105中的左側(cè)上的兩行圖案進行布圖以對齊于稍后設(shè)置的諸連接線110的各圖案。盡管如上所述，保護圖案109和透明導體層105較為有利地通過同一步驟進行設(shè)置，保護圖案和透明導體層也可通過不同的工序而形成。
保護圖案109被布圖于無機固體層104上以覆蓋沒有濾色器102的一個區(qū)域，保護圖案109覆蓋涂覆層103的整個區(qū)域，特別是涂覆層103圖案邊緣區(qū)域。保護圖案109可由相同的透明導體層105(例如ITO)進行設(shè)置。通過設(shè)置保護圖案109，可保護無機固體底層104受到損傷，諸如在清洗工序中由毛刷造成的損傷。透明導體層105被布圖在用作電極的位置上，同時保護圖案109被布圖在不用作電極的位置上。
例如，ITO膜在基板溫度220℃、加入0.8％氧氣的氬氣被用作噴濺氣體而氣體壓力為0.7Pa的條件下通過DC噴濺而沉積。透明導體層105和保護圖案109使用包括鹽酸和氯化鐵的溶劑通過濕蝕法進行布圖。通過這道工序，無機固體層104的某些部分被暴露在外。例如。透明導體層105具有50μm的寬度，而毗鄰的透明導體層105之間的間隙以及透明導體層105和它毗鄰的保護圖案109之間的間隙具有10μm的寬度。對保護圖案109進行布圖以使其盡可能寬地覆蓋整個基板以保護像素外側(cè)的區(qū)域中的無機固體層104。
此后執(zhí)行清洗工序(圖7的S105)。換句話說，清洗步驟在圖3D所示的狀態(tài)下進行。通過提供溶劑，例如高壓超純化水進行清洗。整個基板表面上的外來物質(zhì)(例如不希望的微粒)可通過使?jié)饷芩合蚧灞砻娌⑥D(zhuǎn)動基板而去除。那時，由于無機固體層被覆以保護圖案109，可防止無機固體層104因為清洗而受到損傷。
圖4B是沿圖3D的線A-A’剖切的截面圖。圖4A示出了一種情況，其中不設(shè)有保護圖案109，即常規(guī)有機EL顯示裝置2的情況。在常規(guī)有機EL顯示裝置的情況下，無機固體層204如圖4A所示那樣被整個暴露在外，由于無機固體層204的暴露區(qū)域更薄，特別是位于涂覆層203邊緣區(qū)域處的部分，可能因為清洗而受到損傷。另一方面，在根據(jù)該實施例的有機EL顯示裝置中，無機固體層104及其位于這些更薄區(qū)域中的諸部分如圖4B所示那樣被覆以保護圖案109。因此可防止無機固體層104因為清洗而受到損傷。
金屬膜如圖3E所示那樣被沉積于上述結(jié)構(gòu)上，另外對金屬膜布圖以形成如圖3F所示的連接線110(圖7的S106)。在布圖后，對基板進行清洗(圖7的步驟S107)。由于所執(zhí)行的清洗步驟與圖7的清洗步驟S105一樣，因此保護圖案109的提供同樣能防止無機固體層104因為清洗而受到損傷。如圖5G所示(圖7的S108)，具有開口的絕緣層106被設(shè)置在如此成形的結(jié)構(gòu)上。在該實施例中，光敏聚亞酰銨被用于通過平版印刷法形成絕緣層。如圖5G所示的各第一開口1061被設(shè)置在一個部分，在那里由后續(xù)步驟設(shè)置的陰極108和透明導體層105彼此搭疊，因而從平面圖觀察是彼此相交的，另外每個第一開口1061都用作像素。每個第二開口1062是觸點孔，用于連接陰極108和連接線110。
如圖5H所示，用于形成分隔的陰極的分隔器111被布圖在絕緣層上(圖7的S109)。分隔器111為倒錐形，另外在該實施例中通過使用甲酚樹脂而形成分隔器。然后執(zhí)行干燥步驟以將包含在諸如濾色器102和涂覆層103(圖7的S110)、絕緣材料106(圖7的S108)和分隔器111(圖7的S109)這樣的有機材料層中的水分和/或有機化合物去除。例如，在沉積分隔器111后，基板在真空中以200℃干燥一個小時，并在下一個步驟前在具有大約-80℃露點的干燥氮氣氛圍下、在200℃的溫度下進一步干燥10分鐘，基板被轉(zhuǎn)入下一個步驟而不暴露于大氣。這樣能夠?qū)⒂袡C層(102、103、106、111)中的水分和/或有機化合物不僅從有機層暴露的部分、還從無機固體層的暴露部分去除。
然后如圖5I所示那樣設(shè)置有機膜107(圖7的S111)。例如，有機膜由10nm厚度的銅苯二甲藍染料(copper phthalocyanine)、100nm厚度的α-NPD(4、4’-bis[N-(1-萘基)-N-苯胺]聯(lián)苯)以及60nm厚度的Alq3(三(8-奎寧)鋁)的混合物通過蒸汽沉積而形成。設(shè)置有機膜107以使其至少覆蓋整個有源區(qū)域。
然后，陰極108如圖6J所示那樣設(shè)在在基板的頂部(圖7的S112)。例如，電子注入層和陰極通過蒸汽沉積分別由厚度為0.5nm的LiF膜以及膜厚為80nm的Al電極形成。蒸汽沉積膜通過倒錐形的分隔器111彼此隔開，蒸汽沉積膜充當陰極。陰極108與包含透明導體層105的陽極線搭疊以從平面圖上觀察形成交叉。絕緣膜106具有形成在各個交叉部分的各個第一開口1061。因此，當電流在交叉部分流過有機膜107時，該部分作為發(fā)光部分。每個發(fā)光部分作為一個像素。然后，用包封基板112如圖6K所示那樣將基板在涂覆層區(qū)域103外的區(qū)域包封(圖7的S113)。最后，玻璃基板被切割成一個供安裝的形狀，如圖6L所示(圖7的S114)。一組驅(qū)動電路被安裝在已切割成這個準備安裝的形狀的玻璃基板上。
圖8是沿圖6L的線B-B’剖切的有機EL顯示裝置的截面圖，其中已安裝包封基板112。如圖8所示，各有機膜107被夾在透明導體層105和相應(yīng)的陰極108之間，而陰極108通過形成于絕緣膜106中的接觸孔連接于相應(yīng)的連接線110。包封基板112具有通過蝕刻而產(chǎn)生的凹進部分，干燥劑113被沉積在凹進部分中。包封基板在與玻璃基板101接觸的部分具有密封材料114以保證粘結(jié)性和對水分和氣體的抗?jié)B透性。干燥氣體，例如干氮被封入包封基板和玻璃基板之間的空間Q內(nèi)。包封基板112要求獨立于圖7所示的流程而被制造。在該實施例中，包封基板112是玻璃基板，而干燥劑113是由SAES GETTERS公司制造的干燥劑。包封基板112的凹進形狀也可通過噴沙干蝕刻、濕蝕刻或通過在所要求的凹模內(nèi)形成熔融玻璃而形成。被封裝在空間Q中的氣體不局限于干氮。也可以封裝其它干氣體，諸如氦或氬。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明第一實施例的有機EL顯示裝置可防止無機固體層104在制造工序中的清洗步驟中受到損傷，提高合格率并減少因時間流逝而造成的故障。
其他實施例盡管已關(guān)于濾色器型有機EL顯示裝置的第一實施例作出了解釋，但本發(fā)明不局限于這種類型的有機EL顯示裝置。本發(fā)明還可適用于例如CCM(色變材料)型有機EL顯示裝置。在這種CCM型有機EL顯示裝置中，通過使用例如發(fā)出藍綠光的有機熒光材料而設(shè)置有機膜107。在如圖1所示結(jié)構(gòu)中，分別將藍紫光轉(zhuǎn)換為紅光和綠光的色轉(zhuǎn)換層代替R、G濾色器102而被設(shè)置。通過B濾色器102，原始藍綠光被修正以獲得所希望的藍光。通過這種配置，來自有機膜107的藍綠光被轉(zhuǎn)換成R和G三原色光。然后，R、G或B光射出?；蛘咧辽僖环N色轉(zhuǎn)換層被設(shè)置在其間。所述色轉(zhuǎn)換層能將所述原始發(fā)光轉(zhuǎn)換成不同色光并同時通過將所述不同色光和所述原始發(fā)光混合而產(chǎn)生白光。要注意的是也可使用發(fā)出上述顏色光之外顏色的有機熒光材料。還可使用除了那些顏色之外顏色的濾色器或使用CCM系統(tǒng)。
很明顯，受上述內(nèi)容的啟發(fā)，本發(fā)明的多種修改和變化都是可行的。因此需要知道在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可用除了這里具體說明之外的方式實現(xiàn)本發(fā)明。
提交于2004年12月24日的第2004-374720號日本專利申請的全部公開內(nèi)容，包括說明書、權(quán)利要求書、附圖和摘要被援引于此以全部作為參考。
權(quán)利要求
1.一種有機EL顯示裝置，包括基板；設(shè)置在基板上的顯色有機材料層；涂覆在顯色有機材料層上的涂覆層；設(shè)置在涂覆層上的無機固體層；設(shè)置在無機固體層上的多個第一電極、有機發(fā)光層和多個第二電極；發(fā)光部分，所述發(fā)光部分具有有機發(fā)光層區(qū)域，在那里第一電極和第二電極彼此搭疊，并與第一電極和第二電極形成接觸；絕緣膜，被設(shè)置成覆蓋第一電極兩邊以及第一電極及其相鄰一個之間的所有間隙；以及保護層，被設(shè)置成盡可能多地覆蓋基板上除第一電極外的無機固體層，當保護層包含導體材料時，保護層被布圖成不與第一電極形成短路。
2.如權(quán)利要求1所述的有機EL顯示裝置，其特征在于，所述保護層被設(shè)置在有源區(qū)域的外側(cè)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的有機EL顯示裝置，其特征在于，所述保護層是導體并被設(shè)置成與第一電極絕緣。
4.如權(quán)利要求1所述的有機EL顯示裝置，其特征在于，所述保護層被設(shè)置成覆蓋設(shè)有覆蓋層的整個區(qū)域。
5.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的有機EL顯示裝置，其特征在于，保護層和第一電極是由同一步驟進行工序的層。
6.如權(quán)利要求1-5任何一項所述的有機EL顯示裝置，其特征在于，有機發(fā)光層發(fā)出白光，而顯色有機材料層包括R、G和B濾色器。
7.如權(quán)利要求1-5任何一項所述的有機EL顯示裝置，其特征在于，所述有機發(fā)光層和顯色有機材料層之間設(shè)有至少一種色轉(zhuǎn)換層，所述色轉(zhuǎn)換層能將原始發(fā)光轉(zhuǎn)換成一種不同色光。
8.一種用于制造有機EL顯示裝置的方法，包括將顯色有機材料層設(shè)置在基板上；設(shè)置涂覆層以覆蓋顯色有機材料層；將無機固體層設(shè)置在涂覆層頂部；將多個第一電極設(shè)置在無機固體層上；設(shè)置無機固體層的布圖以使其不與第一電極的外部形成接觸；從上述第一電極和涂覆層上清洗基板；將絕緣膜設(shè)置在第一電極上，所述絕緣膜具有開口；設(shè)置有機發(fā)光層，以及將多個第二電極設(shè)置在位于第一電極上的有機發(fā)光層上。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，還包括用同一工序設(shè)置第一電極和保護層。
10.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，還包括沉積分隔器以使諸第二電極彼此分隔。
全文摘要
一種有機EL顯示裝置，包括設(shè)置在基板101上的濾色器102、涂覆層103和無機固體層104；設(shè)置在無機固體層104上的第一電極105、有機膜107和第二電極108；被設(shè)置成覆蓋第一電極端部的絕緣層106。有機EL顯示裝置可通過包含保護層109提高產(chǎn)率并抑制由于時間的流逝所造成的視覺缺陷，以防止無機固體層104受到損傷。
文檔編號H05B33/12GK1825655SQ20051000338
公開日2006年8月30日 申請日期2005年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月24日
發(fā)明者橫山美華, 增茂邦雄, 加藤直樹 申請人:奧博特瑞克斯株式會社